БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
Учебно-методическое пособие разработано на основе двух книг, являющихся основной литературой:
1.Лозовский В. Н., Константинова Г. С., Лозовский С. В. Нанотехнология в электронике.- СПб.: Издательство Лань,
2008. - 336 с.
2.Нанотехнологии в электронике / Под ред. Ю. А. Чаплыгина. М.: Техносфера, 2005. - 448 с.
В качестве дополнительной литературы можно рекомендовать следующее:
3.Афанасьев А. В. Нанотехнология: физика, диагностика, приборы. - М.: Физматлит, 2006. 260 с.
4.Битюков В. К., Голоденко Б. А., Головенко А. Б. Нанотехнологии. Введение в дисциплину. Воронеж: Гос. технолог, академ., 65 с.
5.Битюков В. К., Голоденко Б. А. Нанотехнологии. Принципы, методы и реализации. Воронеж: Гос. технолог, академ., 2003.192 с.
6.Головин Ю.И. Введение в нанотехнологию. М.: Машиностроение, 111с.
7.Драгунов В. П., Неизвестный И. Г., Гридчин В. П. Основы электроники. Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004. 496 с.
8.Дьячков П. Н. Углеродные нанотрубки: строение, свойства, применение. М.: Бином, 2006. 293 с.
9.Илюшин В. А., Величко А. А. Процессы в нанотехнологии. Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004. 107 с.
10.Кобаяси Н. Введение в нанотехнологию. М.: Бином, 2005. 135 с.
11.Мартинес-Дуарт Д. М. Нанотехнология для микро- и оптоэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 368 с.
12.Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2005. 144 с.
115
13.Нанотехнология в ближайшем десятилетии / Под ред. М. К. Роко, Р. С. Уильямса, П. М. Аливисатоса. М.: Мир, 2002. 292 с.
14.Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Под ред. А. А. Асеева. Новосибирск: Изд-во Сибирск. отд.
РАН, 2004. 367 с.
15.Неволин В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике. М.: Техносфера, 2005. 152 с.
16.Пул Ч. Мир материалов и технологий. Нанотехнологии. М.: Техносфера, 2004. 327 с.
116
СОДЕРЖАНИЕ |
|
ВВЕДЕНИЕ |
3 |
1. ЭТАПЫ РАЗВИТИЯ ЭЛЕКТРОНИКИ |
5 |
2. ОСНОВНЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ЭТАПЫ |
|
ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ |
9 |
2.1. Получение полупроводникового материала |
10 |
2.2. Получение полупроводниковых пластин |
11 |
2.3. Получение эпитаксиальных структур |
11 |
2.4. Методы формирования элементов ИМС |
13 |
2.5. Литография |
16 |
4.ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ |
|
НАНОСТРУКТУР |
21 |
3.1. Молекулярно-лучевая эпитаксия |
21 |
3.2. Формирование квантовых точек посредством |
|
самоорганизации при эпитаксии |
25 |
4. НАНОЛИТОГРАФИЯ |
31 |
4.1. Оптическая литография (фотолитография) |
31 |
4.2. Электронно-лучевая литография |
39 |
4.3. Рентгенолитография |
48 |
4.4. Ионолитография |
50 |
4.5. Импринт-литография |
51 |
5. ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ НАНОЛИТОГРАФИИ |
60 |
6. МЕТОД ЛОКАЛЬНОГО ЗОНДОВОГО ОКИСЛЕНИЯ |
65 |
6.1. Физико-химические основы метода локально- |
|
го зондового окисления |
65 |
6.2. Особенности создания электропроводящих |
|
зондов |
73 |
6.3. Кинетика процесса локального зондового |
|
окисления полупроводников и сверхтонких металличе- |
|
ских пленок |
79 |
117
7. НЕЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ |
|
ФОРМИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ |
|
ПЕРИОДИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУР |
89 |
7.1. Литографические методы формирования |
|
поверхностных периодических наноструктур |
91 |
7.2. Нелитографические методы создания |
|
периодических структур |
93 |
7.2.1. Самоорганизующиеся упорядоченные |
|
пористые материалы |
93 |
7.2.2. Упорядоченные пористые материалы |
|
в технологии фотонных кристаллов |
96 |
7.2.3. Упорядоченный пористый анодный оксид |
|
алюминия. Получение и применение в нанотехнологии |
103 |
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК |
115 |
118
Учебное издание
Стогней Олег Владимирович Трегубов Илья Михайлович Ситников Александр Викторович
СПЕЦИАЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ
В авторской редакции
Подписано к изданию 20.12.2017. Объем данных 6,0 Мб.
ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский просп.,14