Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего профессионального образования «Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники»
Кафедра электронных приборов
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Учебное пособие Часть 2 для студентов направления «Электроника и микроэлектроника»
(специальность «Электронные приборы и устройства»
2012
2
УДК 621.387.002
Орликов Леонид Николаевич.
Технология материалов и изделий электронной техники: учебное пособие (часть 2) для студентов направления «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства» / Л. Н. Орликов; Министерство образования и науки Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. -
Томск: ТУСУР, 2012. - 100 с.
В учебном пособии ч. 2 рассмотрены основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники. Кроме того, рассмотрены основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов.
Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение».
Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.
Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение».
Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.
© Орликов Леонид Николаевич, 2012
Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования
«Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
Кафедра электронных приборов
УТВЕРЖДАЮ Зав.кафедрой ЭП
_______С.М. Шандаров
«___» __________ 2012 г.
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Учебное пособие Часть 2 для студентов направления «Электроника и микроэлектроника»
(специальность «Электронные приборы и устройства»)
Разработчик д-р техн. наук, проф.каф.ЭП
________Л.Н.Орликов «____»____________2012 г
2012
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Содержание |
|
|
|
|
|
4 |
Основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, |
|
|||||||
плазменной, твердотельной и микроэлектроники........................................... |
|
|
|
6 |
|||||
|
4.1 |
|
Технология производства электровакуумных |
приборов.............. |
6 |
||||
|
4.2 |
|
Технология изготовления газопоглотителей.................................. |
|
|
10 |
|||
|
4.3 |
Технология изготовления электронно-лучевых трубок................ |
11 |
||||||
|
4.4 |
|
Технология изготовления приборов плазменной электроники... |
14 |
|||||
|
4.5 |
|
Технология |
изготовления |
твердотельных |
электронных |
|||
|
|
|
приборов............................................................................................ |
|
|
|
|
|
16 |
|
4.6 |
|
Планарная технология изготовления электронных приборов..... |
22 |
|||||
|
4.7 |
|
Планарно-эпитаксиальная |
технология |
|
изготовления |
|||
|
|
|
твердотельных электронных приборов ......................................... |
|
|
|
25 |
||
|
4.8 |
|
Технология |
элементов |
наноэлектроники, |
молекулярной |
|||
|
|
|
электроники и квантовых транзисторов........................................ |
|
|
|
25 |
||
|
4.9 |
Технология |
формирования |
акустоэлектронных элементов на |
|||||
|
|
|
поверхностных акустических волнах (ПАВ) ................................ |
|
|
32 |
|||
|
4.10 |
Пути повышения радиационной |
стойкости |
электронных |
|||||
|
|
|
приборов............................................................................................ |
|
|
|
|
|
34 |
|
4.11 Контрольные вопросы к главе 4 ..................................................... |
|
|
|
36 |
||||
5 |
Основы автоматизации в технологии производства материалов и |
|
|||||||
изделий электронной техники ........................................................................ |
|
|
|
|
36 |
||||
|
5.1 |
Подобие технологических процессов............................................ |
|
|
|
36 |
|||
|
5.2 |
Языки |
пользователя |
для |
|
программирования |
|||
|
|
|
электрофизических установок........................................................ |
|
|
|
37 |
||
|
5.3 |
Пневматические устройства управления....................................... |
|
|
41 |
||||
|
5.4 |
Порядки и типы управляющих систем |
технологического |
||||||
|
|
|
оборудования.................................................................................... |
|
|
|
|
42 |
|
|
5.5 |
Устойчивость технологических процессов................................... |
|
|
43 |
||||
|
5.6 |
Анализ сложных технологических систем.................................... |
|
|
45 |
||||
|
5.7 |
Системы регистрации и первичной обработки |
сигналов.......... |
46 |
|||||
|
5.8 |
Регулирование технологических процессов................................. |
|
|
48 |
||||
|
5.9 |
Технология обработки сигналов с технологических объектов... |
50 |
||||||
|
5.10 Числовое |
программное |
управление |
в |
технологии |
||||
|
|
|
обработки материалов..................................................................... |
|
|
|
|
55 |
|
|
5.11 Оптимизация технологических процессов.................................. |
|
|
59 |
|||||
|
5.12 Робототехнические комплексы и автоматизированные рабочие |
||||||||
|
|
|
места.................................................................................................. |
|
|
|
|
|
61 |
|
5.13 Системы |
«КАМАК» и |
«АРМ» |
для |
автоматического |
||||
|
|
|
регулирования технологических процессов ................................. |
|
|
63 |
|||
|
5.14 Контрольные вопросы к главе 5 ................................................... |
|
|
|
65 |
||||
6 |
Эксплуатация и сервисное обслуживание технологического |
|
|||||||
оборудования..................................................................................................... |
|
|
|
|
|
65 |
|||
|
|
|
|
|
5 |
|
|
|
|
6.1 |
Правила оформления документов для технологических |
||||||
процессов ...................................................................................................... |
|
|
|
|
|
|
65 |
|
|
6.2 |
Общее сервисное обслуживание оборудования ........................... |
|
66 |
||||
|
6.3 |
обслуживание |
различных типов |
вакуумных |
||||
установок |
|
|
|
|
|
|
68 |
|
|
6.4 |
Сервисное обслуживание вакуумных насосов .............................. |
|
71 |
||||
|
6.5 |
Монтаж вакуумных коммуникаций |
............................................... |
|
72 |
|||
|
6.6 |
обслуживание |
электрооборудования |
вакуумных |
||||
установок |
|
|
|
|
|
|
75 |
|
|
6.7 |
Сервис отдельных блоков электрофизических ..........установок |
78 |
|||||
|
6.8 |
Сервисное обслуживание систем очистки ...................... воздуха |
|
84 |
||||
|
6.9 |
Сервисное обслуживание специальных ..................... установок |
|
85 |
||||
|
6.10 |
Эксплуатация |
и |
сервисное |
обслуживание |
установок |
||
нанотехнологии типа Катунь........................................................................... |
|
|
|
|
86 |
|||
|
6.11 |
измерения |
скорости |
формирования |
толщины |
|||
пленок |
|
|
|
|
|
|
94 |
|
|
6.12 |
Контрольные вопросы к главе 6................................................... |
|
|
98 |
|||
7 |
Заключение................................................................................................ |
|
|
|
|
|
|
99 |
8 |
Список ......................................................рекомендуемой литературы |
|
|
99 |
||||