Материал: LS-Sb89566
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица П.2.2 |
|
|||
|
Диффузионная длина неосновных носителей в германии |
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
Удельное сопротивление, |
Диффузионная длина, мм, не менее |
|
|||||||||||||
|
Ом×см |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
дырок |
|
|
|
|
электронов |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,24 … 0,5 |
|
|
0,3 |
|
|
|
|
|
|
0,3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,5 … 0,9 |
|
|
0,4 |
|
|
|
|
|
|
0,5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,9 … 2,5 |
|
|
0,5 |
|
|
|
|
|
|
0,6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,5 … 4,2 |
|
|
0,8 |
|
|
|
|
|
|
0,8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4,2 … 16,0 |
|
|
1,0 |
|
|
|
|
|
|
1,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
16,0 … 36,0 |
|
|
1,2 |
|
|
|
|
|
|
1,2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Свыше 36 |
|
|
3,0 |
|
|
|
|
|
3,0 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица П.2.3 |
|||
|
Параметры слитков монокристаллического германия |
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Интервал номиналов |
|
|
|
Разброс удельного |
Плотность |
|
||||||||||
Легирующая |
сопротивления, %, |
дислокаций, |
|
|||||||||||||
|
удельного |
|
||||||||||||||
|
|
примесь |
|
|
|
не более |
|
см–2 , не более |
|
|||||||
сопротивления, Ом×см |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
а |
|
б |
в |
|
г |
д |
1 |
|
5 |
|
6 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,003 … 0,01 |
|
|
|
- |
|
20 |
- |
15 |
- |
5×104 |
|
- |
|
- |
|
|
0,01 … 0,1 |
|
|
- |
20 |
- |
15 |
- |
5×104 |
|
5×103 |
|
- |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5×103 |
|
|
|
0,1 … 6,0 |
|
Сурьма |
- |
20 |
- |
15 |
- |
- |
10 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5×104 |
|
5×103 |
|
|
|
6,0 … 15,0 |
|
|
- |
- 17,5 |
15 |
- |
10 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5×103 |
|
|
|
15,0 … 45,0 |
|
|
25 |
20 |
- |
15 |
- |
- |
10 |
||||||
|
0,0001 … 0,001 |
|
|
|
- |
20 |
- |
15 |
10 |
5×104 |
|
- |
|
- |
||
|
0,001 … 0,1 |
|
|
- |
20 |
- |
15 |
10 |
5×104 |
|
5×103 |
|
10 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,1 … 6,0 |
|
Галлий |
- |
20 |
- |
15 |
10 |
- |
|
5×103 |
|
10 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6,0 … 15,0 |
|
|
- |
20 |
- |
15 |
10 |
- |
|
5×103 |
|
10 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
15,0 … 45,0 |
|
|
- |
20 |
- |
15 |
10 |
- |
|
5×103 |
|
10 |
|||
- 26 -
3.Монокристаллический кремний
Всовременном производстве основным методом производства монокристаллического кремния общего назначения является метод Чохральского
(r < 250 Ом×см). Этим методом выращиваются слитки как с n-типом, так и с р-типом электропроводности.
Примеры условного обозначения марок кремния: 1A5 КДБ 7,5/0,1-40; 1A4 КЭФ 5/0,1-40,
где 1А – марка кремния; 4,5 (или другая цифра) – группа марок; К – кремний; Э (или Д) – тип электропроводности; Б, Ф – примесь бора или фосфора; 7,5 (или другие цифры) – номинал удельного сопротивления, Ом×см; цифры, стоящие после косой черты – минимальное значение диффузионной длины (диффузионная длина неосновных носителей заряда для всех марок кремния может превышать 0,1 либо 0,2 мм); цифры, стоящие после дефиса, – диаметр слитка, мм.
|
|
|
|
|
Таблица П.3 |
|
|
|
Монокристаллический кремний общего назначения |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Интервал удельного |
Разброс удель- |
Плотность |
Легирующая |
|
Марка |
Группа |
сопротивления, |
ного сопротив- |
|||
дислокаций, см–2 |
примесь |
|||||
|
|
Ом×см |
ления, % |
|
|
|
|
1 |
|
15 |
103 – 2 ×104 |
|
|
|
2 |
|
15 |
2×103 |
|
|
1А |
3 |
1 … 15 |
20 |
103 – 2 ×104 |
|
|
4 |
20 |
2×103 |
|
|||
|
|
|
||||
|
5 |
|
20 |
10 |
Фосфор, бор |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
15 |
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
20 |
103 – 2 ×104 |
|
|
2А |
2 |
15 … 25 |
15 |
2×104 |
|
|
|
3 |
|
20 |
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2Б |
1 |
25 … 40 |
20 |
5×104 |
|
|
2В |
1 |
40 … 75 |
20 |
5×104 |
Фосфор |
|
2Г |
1 |
50 … 150 |
25 |
5×104 |
||
|
||||||
2Д |
1 |
100 … 250 |
30 |
5×104 |
|
|
СОДЕРЖАНИЕ |
|
ВВЕДЕНИЕ.................................................................................................................. |
3 |
ЗАДАНИЕ И ИСХОДНЫЕ ДАННЫЕ...................................................................... |
5 |
УКАЗАНИЯ ПО РАЦИОНАЛЬНОМУ ВЫПОЛНЕНИЮ РАБОТЫ.................... |
6 |
ПОРЯДОК ЗАЩИТЫ И ТРЕБОВАНИЯ ПРИ ЗАЩИТЕ КУРСОВОЙ |
|
РАБОТЫ............................................................................................................. |
23 |
ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ К СОДЕРЖАНИЮ И ОФОРМЛЕНИЮ |
|
КУРСОВОЙ РАБОТЫ...................................................................................... |
24 |
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ......................................................................................... |
24 |
ПРИЛОЖЕНИЯ......................................................................................................... |
25 |
Редактор И. Б. Синишева
Подписано к печати 25.03.13. Формат 60×84 1/16. Бумага офсетная. Печать офсетная.
Гарнитура «Times New Roman» Печ. л. 1,75.
Тираж 40 экз. Заказ 17.
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5