Физические основы молекулярной электроники
5) Сенсоры на поверхностных акустических волнах стро ятся на простом принципе. Поверхность пьезоэлектрического ма териала покрывается органической пленкой, обладающей свой ством селективной адсорбции. Когда молекулы газа адсорбиру
ются на поверхность, они нарушают условия распространения
вдоль нее поверхностных акустических волн. Иными словами, так как энергия поверхностной акустической волны сконцентрирова-
Табица.4.1 .
Газы, детектированные с помощью поверхностных акустичес
ких волн
Детсктированный |
Примененный |
Активное |
|
газ |
пьезоэлектрик |
покрытие |
|
|
|
|
|
S02 |
цььо, |
Триэтаноламин |
|
|
|
|
|
S02 |
зю. |
Фталоцианин |
|
|
|
|
|
N02 |
LiNЬОз |
Фталоцианин |
|
Или Si02 |
|
||
|
|
|
|
Производные |
? |
Аминопропил- |
|
нитробензола |
триэтоксилан |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
Толуэн |
ZnO/AVSixNy |
Полидиметил- |
|
силоксан |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
Н20 |
цмьо, |
Полиимид |
|
|
|
|
|
Н20 |
зю. |
Фталоцианин |
|
|
|
|
|
Пары различных |
ZпО-Si |
Различные |
|
органических |
полимерные |
|
|
Или зю, |
|
||
соединений |
|
|
|
|
пленки |
|
|
|
|
|
|
СО2 |
') |
Полиэтиленимин |
|
|
|
|
|
СО |
зю, |
Фталоцианин |
|
|
|
|
|
СН4 |
зю. |
Фталоцианин |
|
|
|
|
|
136
Глава /V Принципыпостроениядействующихи перспективныхустройств НО7 электроники
на на расстоянии одной-двух длин акустической волны от поверх ности, это позволяет ей сильно взаимодействовать с веществом, находящемся на поверхности. Взаимодействие приводит к изме нению амплитуды, фазы и скорости распространения волны. Для возбуждения на поверхности пьезоэлектрика релеевских поверх
ностных акустических ВОЛII на нее наносится система вложепых
друг в друга проводящих гребенок (рис.4.6), аналогичная система служит приемником сигнала. Поданные на гребенку электричес кие колебания преобразуются в акустическую волну, распростра няющуюся вдоль поверхности и преобразующуюся назад в элект рические колебания приемной гребенкой. В сенсорах также мо гут быть применены акустические волны Лэмба, возникающие, если толщина пьезоэлектрика мала по сравнению с длиной вол ны. Система работает на частотах от десятков до тысяч мегагерц. В таблице 4.1 представлены результаты, полученные в различное
время с использованием сенсоров на поверхностных акустичес
ких вол пах.
Были продемонстрированы чувствительности сенсоров, в
частности для толуэна, трихлорметана и четыреххлористого угле
рода, вплоть до 10-4 ррт. Из теоретических расчетов было показа
но, что сенсоры на волнах Лэмба в тонких пластинках способны показать максимальную чувствительность из всех устройств на основе пьезоэффекта.
6) Пироэлекгрические сенсоры могут быть созданы на основе монокристаллов, керамик или полимеров, обладающих спонтанной поляризацией, зависящей от температуры. В частно сти, разработаны фото-пироэлектрические сенсоры на основе пле нок полимера поливинилиденфторида (ПВДФ) дЛЯ детектирова ния водорода. В таком сенсоре пленка ГIВДФ нанесена на алюми ниевую подложку и покрыта палладиевой пленкой, селективно ад сорбирующей водород. За счет облучения амплитудно-модулиро ванным лазером в пленке создается стабильное распределение теплового поля. Распределение температуры нарушается за счет теплоты адсорбции при попадании на поверхность сенсора моле кул Н2, одновременно меняется и разность потенциалов между электродами. На рис.4.7 показана схема дифференциального сен-
137
Физические основы молекулярной электроники
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Pd |
|
|
Ni-Al |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
--- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5096 |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
-------1 |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3496 |
Свето- |
|
J |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
- - |
Лазер ...... |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
деление |
~l |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ni-Al |
|
|
: |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
t |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
Изоляция |
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Электро соединения |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
PD, |
|
|
|
|
|
]696: ----ОптичесКоеволокно |
||||||||||
|
|
|
~ ""-------1 |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
f::\ |
|
|
|
|
|
|
11 |
Ni: 200 А |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rв |
AI: 600 А |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
\!у |
|
|
|
|
|
|
НI |
Pd: 130 А |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
РИС.4.7. Схематическое изображение пироэлектричес кого газового сенсора на поливинипидэнфториде. Активное плечо) покрытое Pd электродом) вырабаты вает сигнал Vpd ; плечо сравнения с AI-Ni электродами
создает опорный сигнал V ; сигнал на выходе фото
1N
диода VR используется для синхронного детектора
138
Глава IV Принципы построения действующих 11 перспектнвных устройств .~/ОЛ. электроники
сора на основе РУОР. ПЛенка с двумя алюминиевыми электродами, не обладающими избирательностью по отношению к адсорбции во дорода, используется в качестве опорного датчика. Полученый сен сор способен работать в диапазоне концентраций водорода от еди ниц до 104 ррш,
7) Биосенсоры - это специальный класс химических сен соров, который использует высокую чувствительность и селекгив ность биологически активных материалов, являющуюся резуль татом многих миллионов лет эволюции живых объектов, переда ча информации между которыми основана на химических сигна лах. Биосенсор можно определить как систему, объединяющую биологический чувствительный элемент, обычно иммобилизован ный на поверхности твердого тела, с традиционным преобразова телем сигнала. Чувствительный элемент распознает конкретную молекулу благодаря реакции, специфической адсорбции или дру гому физическому или химическому процессу, а преобразователь
конвертирует результат такого распознавания в легко используе
мый сигнал - обычно электрический или оптический. Существует два класса процессов био-распознавания -
это распознавание по био-сродству и био-метаболическое распоз
навание, отличающиеся методом детектирования. Оба класса включают образование сильной связи одного вещества с другим,
имеющим комплементарную структуру - так называемая связь
"ключ-замок". При распознавании по био-сродству образующая ся связь является достаточно сильной, и преобразователь должен зафиксировать наличие этой связи. Наиболее распространенные типы распознавания по био-сродству - это механизмы антитело антиген и рецептор-лиганд. В случае био-метаболического рас познавания после образования связи происходит реакция иссле дуемого вещества с другими реактантами и образуется новый про дукт. В этом случае преобразователь должен зафиксировать изме
нение концентрации продуктов реакции или исходных реактан
тов или выделение тепла в результате реакции. К механизмам био метаболического распознавания относятся реакции с участием эн зимов и "переработка" некоторых молекул органеллами, живыми
тканями и клетками.
139
Физические основы молекулярной электроники
Первый биосенсор, созданный Кларком и Лионсом в 1962 г., использовал электрохимический электрод, покрытый иммобилизо ванным ферментом. С тех пор появилось множество различных биосенсоров, основанных на химически чувствительных полупро водниковых устройствах, волоконной оптике, терморезисторах,
поверхностных акустических волнах, электрохимических элект
родах, пьезорезонапсных кварцевых весах и многих других пре
образователях. Основное отличие биосенсоров от других типов химических сенсоров состоит в их гораздо более высокой чув ствительности и избирательности. Понять ее причины можно на основе связи "ключ-замок", которая образуется только когда ис
следуемое вещество имеет структуру комплиментарную к струк
туре эпзима или антитела, и в результате образования связи пара оказывается в более низком энергетическом положении, чем две пезависимые молекулы. Разнообразие реакций в биологическом мире дает возможность создания очень разнообразных биосенсо
ров, поскольку существуют системы, органеллы, клетки, ткани и
микроорганизмы, способные реагировать на очень разные веще
ства, начиная с маленьких неорганических молекул, таких как кис
лород, и кончая большими сложными молекулами протеинов и уг леводородов. Основные типы веществ, которые можно распозна вать с помощью биосенсоров, представлены в таб.4.2.
Таблица.4.2.
Примеры основных типов веществ, распознаваемых биссенсорами
- --- - - --- - -- ---- --- -- -- ------------------ ---- -------- ---1 |
|||
Распознанасмыевещссгва |
r[римеры |
|
|
|
|||
|
|
|
|
Вещества, участвующис |
|
|
|
в мет аболизмс |
КИСЛОрОД, метан, этанол и другие |
|
|
Субс граты для эизимов |
Глюкоза, пеницелпин, мочевина |
|
|
|
Гормоны, феромоны. токсины, |
|
|
|
нейротрансмиттеры |
|
|
Антигсны Н антитела |
Иммуноглобулины |
|
|
IIIУКЛСШЮВЫСкислоты |
ДНК, РНК |
|
|
|
|
|
|
140