сопровождаться фазовыми переходами (плавление, испарение) как внутри включений, так и в матрице вблизи них, а также возникновением термоупругих напряжений. Подтверждением этой модели разрушения служит локальный характер повреждений – они имеют вид отдельных, хаотически расположенных очагов разрушения.
Развитие электронной лавины вследствие ударной ионизации материала в настоящее время рассматривается в качестве основного механизма разрушения идеального (свободного от поглощающих неоднородностей) оптического материала. Этот вид разрушения и ограничивает порог ЛП материалов. Его действие, очевидно, можно наблюдать в наиболее совершенных материалах. Однако и в совершенных материалах концентрация поглощающих дефектов может достигать 109 см–3. В связи с этим высокие пороги ЛП (1010…1011 Вт/см2), характерные для данного механизма разрушения, наблюдаются в объемах порядка 10–10…10–9 см3, получаемых при острой фокусировке излучения. При больших объемах взаимодействия с материалом порог ЛП определяется и структурными дефектами, играющими роль поглощающих неоднородностей.
Представление о механизмах разрушения оптических материалов при тепловом воздействии непрерывного излучения до недавнего времени в основном базировалось на теоретических (в рамках теории термоупругости) исследованиях. Предполагается, что разрушение ОЭ лазера происходит при достижении действующим на торце элемента растягивающим термоупругим напряжением предела прочности материала. К разрушению ОЭ из полупроводниковых кристаллов может привести развитие тепловой лавины в результате нелинейного роста коэффициента поглощения при лазерном нагреве материала. В последнее время для объяснения причин разрушения ОЭ из пластичных ЩГК используется модель пластического течения материала при тепловом воздействии излучения; например, для ОЭ из полупроводниковых кристаллов (в частности, для ZnSe) термохимические реакции, протекающие на поверхности ОЭ, приводят к увеличению коэффициента поглощения материала.
Исследования ЛП оптических материалов позволили не только определить основные механизмы их разрушения, но и получить информацию об основных закономерностях этих процессов. К числу наиболее значительных достоверных практических результатов этих исследований следует отнести:
7
1)установление существенного (в зависимости от способа оптической обработки) различия между порогами ЛП объема и поверхности ОЭ. Поверхность является наиболее слабым местом ОЭ. Различие в порогах ЛП объема и поверхности свидетельствует о том, что существует множество различных по качеству оптических материалов и элементов (табл. 1). Это определило пути повышения порогов ЛП ОЭ лазеров: получение материала с более низким поглощением, высокой механической прочностью и структурной однородностью, а также совершенствование старых и разработку новых технологий обработки поверхностей ОЭ;
2)обнаружение размерного эффекта – зависимости порога ЛП от размера пятна облучения. Суть его состоит в том, что с увеличением размера пятна облучения порог ЛП материала снижается (табл. 2). Это обусловлено наличием в материале поглощающих включений с определенным распределением по объему материала. При больших пятнах облучения резко возрастает вероятность попадания в область облучения дефектов, для которых характерен низкий порог ЛП. Размерный эффект известен как для объема оптического материала, так и для поверхности, как при импульсном режиме облучения, так и при непрерывном. Отсутствие размерного эффекта свидетельствует о статической однородности оптического материала;
3)установление влияния модового состава и флуктуаций мощности лазерного излучения на пороги ЛП оптических материалов. В частности, при увеличении числа продольных и поперечных мод порог ЛП материала существенно снижается.
Взависимости от модового состава излучения порог ЛП оптического материала снижается в 4–100 раз по сравнению со значениями, получаемыми при использовании одномодового лазера.
Предварительная пластическая деформация ЩГК – создание различного типа структурных состояний, существенно повышающее механическую прочность кристаллов, не изменяет их пороги ЛП. В то же время при изготовлении методом горячего
прессования лазерные окна из NaCl имели порог ЛП до 8 Дж/см2 при 5 Дж/см2 для монокристалла (10,6 мкм, 1,2 нс); при этом предел текучести поликристалла вчетверо превышал соответствующий параметр монокристалла.
Проблема лучевой прочности ИК-кристаллов прежде всего есть проблема технологическая – определяющим фактором яв-
8
ляется качество оптического материала и обработки поверхностей ОЭ. При этом необходимая степень совершенства материала и обработки поверхностей зависит от конкретных режимов лазерного воздействия.
Таблица 1
Пороги ЛП ИК-материалов при воздействии импульсного излучения (длина волны 10,6 мкм, энергия излучения 100 мДж, длительность импульса 92 нс) [1]
|
Полное погло- |
Способ обработки |
Порог ЛП, МВт/ см2 |
||
Материал |
на |
|
|||
|
щение, см–1 |
поверхности |
в объеме |
||
|
|
|
поверхности |
||
|
0,005 |
Стандартный |
270 |
230 |
|
ZnSe |
0,0005 |
Алмазная паста |
350 |
460 |
|
|
0,0005 |
Суперполировка |
350 |
460 |
|
|
|
|
|
|
|
|
0,00014 |
Стандартный |
400 |
4000 |
|
|
0,00026 |
» |
– |
1500 |
|
KCl |
0,001 |
» |
560 |
650 |
|
|
0,0006 |
» |
– |
190 |
|
|
0,0023 |
» |
– |
190 |
|
|
|
|
|
|
|
NaCl |
0,004 |
» |
1600 |
6100 |
|
0,004 |
» |
840 |
3900 |
||
|
|||||
|
|
|
|
|
|
Таблица 2
Зависимость порогов ЛП ИК-материалов от размера пятна облучения (длина волны 10,6 мкм, длительность импульса 90 нс)
Радиус пятна r*, мкм |
|
Материал** |
|
|
NaCl |
KCl |
KBr |
||
|
20,5 |
95,7 |
74,7 |
29,9 |
45,0 |
10,9 |
6,36 |
4,12 |
90,0 |
6,7 |
5,0 |
2,82 |
____________
*На уровне снижения интенсивности излучения от центра пятна в е2 раз.
**Кристаллы выращены в реактивной атмосфере и удовлетворяли следующим условиям: а) отсутствие полосы поглощения в диапазоне 0,5… …10,6 мкм; б) поглощение не более 10–3 см–1; в) отсутствие центров рассеяния при облучении Не-Ne-лазером и наблюдении при 20-кратном увеличении.
9
В настоящее время известны результаты измерений порогов ЛП оптических материалов в импульсном и непрерывном режимах для различных размеров пятен облучения. Отметим, что основная часть измерений порогов ЛП при импульсном облучении проведена в наносекундном диапазоне длительностей импульса. В одинаковых условиях измерений ЩГК (NaCl, KCl) обладают бόльшими порогами, нежели другие материалы. Однако наличие размерной зависимости порогов ЛП на практике привело к тому, что оптический материал (элемент), аттестованный по порогу ЛП в малом пятне, при работе в лазерах с большой апертурой имел порог разрушения на порядок ниже. Этим была обусловлена необходимость измерений ЛП в больших пятнах облучения для оценки перспективности применения реальных материалов для изготовления крупногабаритных ОЭ (табл. 3). Заметим, что в больших пятнах облучения пороги импульсной ЛП различных ИК-материалов отличаются не более чем в два раза. Для непрерывного режима пороги ЛП некоторых ИК-материалов при разных пятнах облучения представлены в табл. 4.
|
|
|
Таблица 3 |
Пороги ЛП в большом пятне облучения* [2] |
|||
Материал |
Порог ЛП, МВт / мм2 |
||
на поверхности |
|
в объеме |
|
|
|
||
|
|
|
|
BaF2 |
> 2 |
|
> 2 |
KCl |
1,0–1,6 |
|
1,2–1,6 |
KCl упрочненный |
0,6–1,0 |
|
0,9–1,2 |
NaCl |
0,8–1,2 |
|
0,8–1,3 |
NaCl упрочненный |
0,5–0,8 |
|
0,5–0,8 |
KPC-6 |
1,0–1,3 |
|
1,2–1,5 |
KPC-5 / 110** |
1,3–2,0 |
|
1,1–1,5 |
KPC-5 / 100 |
0,9–1,3 |
|
1,1–1,6 |
ZnSe |
0,8–1,0 |
|
0,8–0,9 |
GaAs |
0,5–1,1 |
|
– |
Ge |
0,6–1,0 |
|
– |
|
|
|
|
_____________ |
|
|
|
*Диаметр пятна облучения 1,5…3 см, длительность импульса 150 нс.
**Кристаллографические направления.
10
|
|
|
|
|
Таблица 4 |
Пороги ЛП в непрерывном режиме облучения* [2], кВт / см2 |
|||||
Материал |
|
Размер пятна, см–2 |
|
||
6 |
|
0,2 |
|
5 10–2 |
|
|
|
|
|||
KCl |
– |
|
25–30 |
|
≥80 |
KCl упрочненный |
1,5–3,0 |
|
30 |
|
– |
NaCl |
– |
|
25–30 |
|
50 |
NaCl упрочненный |
1,5–3,0 |
|
27–30 |
|
– |
KPC-6 |
0,1–0,15 |
|
7–8 |
|
– |
KPC-5 |
0,1–0,15 |
|
5–8 |
|
– |
ZnSe |
2 |
|
15–20 |
|
60 |
GaAs |
2–3 |
|
30 |
|
– |
|
|
|
|
|
|
_______________ |
|
|
|
|
|
* Время облучения 2 мин.
Порог ЛП реального оптического материала или элемента является функцией как режима облучения (времени воздействия, энергии или мощности излучения и их распределения, размера пятна облучения), так и качества материала и состояния поверхности ОЭ.
Однако, характеризуя их ЛП, исследователи не приводят необходимой совокупности данных, которые позволяют однозначно их трактовать или сравнивать: используют разные критерии разрушения; не всегда указывают, какой порог ЛП измерен (в объеме или на поверхности образца); при непрерывном режиме не приводят данные о времени облучения. Это затрудняет возможность корректного сравнения порогов ЛП реальных материалов, полученных разными авторами. Критерии, позволяющие прогнозировать пороги ЛП при переходе от одних условий облучения к другим, от образцов – к ОЭ, в настоящее время отсутствуют. Только весьма осторожно можно отметить, что для некоторых материалов (NaCl, KCl, BaF2, GaAs – при импульсном облучении; NaCl, KCl, ZnSe, GaAs – при непрерывном) характерны высокие пороги ЛП как в малых, так и в больших пятнах облучения.
В настоящее время порог ЛП реального оптического материала или элемента, измеренный в малом пятне облучения, является качественной характеристикой по отношению к реальным
11