Материал: Международная телекоммуникатсионная конферентсия Молодеж и наука Ч.2 2015

Лазерная физика

Р.А. РАХИМОВ, Е.В. ОСИПОВ, Д.С. ДОВЖЕНКО Научный руководитель – А.А. ЧИСТЯКОВ, д.ф.-м.н., профессор

Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ

ЗАВИСИМОСТЬ СПЕКТРОВ ОТРАЖЕНИЯ РУГЕЙТ-ФИЛЬТРОВ НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ОТ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

Известно, что фотонные кристаллы на базе пористого кремния, широко используются в качестве элементов оптических сенсоров. При этом наибольший интерес представляют структуры, обладающие резонансными свойствами, например, узкой полосой отражения, что обеспечивает высокую чувствительность устройства. В качестве такого элемента может быть использован ругейт-фильтр – фотонный кристалл с плавно меняющимся по гармоническому закону показателем преломления и узкой спектральной полосой отражения. В данной работе проведена оптимизация параметров электрохимического травления кремния с целью получения ругейт-фильтров с шириной полосы отражения в видимом диапазоне менее 50 нм и коэффициентом отражения более 90%.

Внастоящее время большой интерес представляют оптические сенсоры, преимуществами которых являются быстрый отклик на изменение внешних условий и высокая чувствительность. В качестве элементов оптических датчиков можно использовать ругейт-фильтр [1] на основе пористого кремния (ПК), обладающий высокой удельной площадью поверхности [2] и развитой системой пор. Такие структуры, как и другие фотонные кристаллы (ФК) получают методом электро-химического травления кремния в водно-спиртовом растворе плавиковой кислоты [3].

Ключевые оптические характеристики получаемых образцов, зависят от параметров травления, таких как плотность тока, профиль тока и т.д. Эти зависимости имеют нелинейный характер, поэтому необходим экспериментальный подбор параметров травления с целью получения образцов

сузкой полосой и высоким коэффициентом отражения.

Вданной работе использовался монокристаллический кремний КДБ, с удельным сопротивлением 0,003-0,005 Ом·см и ориентацией поверхности (100). Электрохимическое травление кремния проводилось на установке, выполненной из фторопласта. Электродами служили – платиновая пластина (катод) и образец монокристаллического кремния на алюминиевой пластине (анод).

_______________________________________________________________________

66 ISBN 978-5-7262-2222-6. XIX конференция «Молодежь и наука»

Лазерная физика

Процесс электро-химического травления проходил в водно-спиртовом растворе плавиковой кислоты (HF:С2H5OH – 1:2). В качестве источника тока использовался прецизионный прибор KEITHLEY 2600А, с помощью которого задавался синусоидальный профиль тока.

На первом этапе была исследована зависимость оптических свойств ругейт-фильтров от количества слоев (периодов) гармонического изменения показателя преломления. Характерная толщина отдельного слоя при этом составляла 170 нм. Максимум спектра отражения ругейт-фильтров приходился на диапазон 500-570 нм. При повышении количества слоев с 50 до 100 наблюдалось существенное улучшение формы профиля отражения и уменьшение амплитуды вторичных пиков более чем на 25 %. Далее было проведено исследование влияния плавного изменения плотности тока в начале и конце травления на спектры отражения. Таким образом, была получена меньшая разность показателя преломления на границе пористый кремний / воздух, что привело к дополнительному уменьшению интенсивности вторичных пиков в 2 раза, что соответствует литературным данным [4].

Так же было исследована зависимость ширины полосы отражения ру- гейт-фильтра от амплитуды тока. При уменьшении амплитуды модуляции тока в 1,5 раза наблюдается уменьшение ширины полосы на 30%, что можно объяснить уменьшением диапазона изменения показателя преломления структуры. В результате всех этапов оптимизации удалось создать ругейт-фильтр из пористого кремния с шириной полосы отражения в видимом диапазоне менее 50 нм и коэффициентом отражения более 90%.

Список литературы

1.Bovard B.G. Rugate filter theory: an overview. / B. G. Bovard // Appl. Opt. – 1993. Т. 32.

№3 –5427–5442с.

2.Halimaoui A. Determination of the specific surface area of porous silicon from its etch rate in HF solutions // Surface Science – 1994. – Т. 306. – 550–554с.

3.Lehmann V. Porous silicon formation: A quantum wire effect / V. Lehmann, U. Gösele //

Appl. Phys. Lett. – 1991. – Т. 58 – № 8 – 856–858с.

4.King B.H. Medium-wavelength infrared gas sensing with electrochemically fabricated porous silicon optical rugate filters / B.H. King, M.J. Sailor // J. Nanophotonics. 2011. Vol. 5, № 1. P. 051510.

_______________________________________________________________________

Лазерная физика

А.В. МИХАЙЛЮК, Д.С. КОШКИН Научный руководитель – А.П. КУЗНЕЦОВ, д.ф.-м.н., доцент

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

СЕМИКАНАЛЬНЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ТИПА VISAR ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАССОВОЙ СКОРОСТИ ВЕЩЕСТВА В УДАРНО-ВОЛНОВЫХ ЭКСПЕРИМЕНТАХ

В работе представлен расчет оптической схемы семиканального квадратурнодифференциального неравноплечного интерферометра типа VISAR с волоконным вводом и выводом излучения. Моделирование оптической системы и расчет параметров производился в программе ZEMAX. Приведены описание параметров и предназначения прибора. Представлена оптическая схема, функциональное назначение оптических элементов и расчет аберрационных характеристик системы. Оценивается качество изображения и его влияние на погрешность измерений интерферометра.

Исследование физико-химических процессов при сильном импульсном воздействии является одной из наиболее актуальных фундаментальных задач в физике экстремального состояния вещества [1]. Большое практическое значение в этой научной области имеет исследование физических и механических свойств материалов, подвергнутых экстремальному воздействию [2, 3]. В результате ударно-волновой нагрузки вещества имеет место множество сложных процессов: сжатие твердых тел, высокие температуры разогрева, упрочнение в ударных волнах, откольное разрушение, фазовые превращения, изменение электронной структуры, развитие гидродинамических неустойчивостей, и т. д. [4].

Массовая скорость является одним из немногих доступных для прямого измерения параметров в физике ударно-волновых процессов и физике высокой плотности энергии. Ввиду экстремальных параметров исследуемого вещества в физике высоких плотностей энергии предпочтительными являются бесконтактные методики. Единственным непрерывным во времени бесконтактным методом измерения массовой скорости является лазерная интерферометрия.

Для проведения измерений массовой скорости в ударно-волновых исследованиях и изучения экстремального состояния вещества был разработан измерительный комплекс, основанный на использовании квадра- турно-дифференциального сдвигового интерферометра. Данная схема позволяет измерять скорости движения поверхности широкого класса

_______________________________________________________________________

68 ISBN 978-5-7262-2222-6. XIX конференция «Молодежь и наука»

Лазерная физика

исследуемых объектов в ударно-волновых экспериментах в большом диапазоне скоростей (50-10000 м/с).

В ряде случаев в эксперименте требуется проводить одновременное измерение массовой скорости в нескольких точках объекта. Для подобных многоточечных измерений была разработана семиканальная оптическая схема, основным элементом в ней служит оптоволоконный жгут, каждое волокно в котором транспортирует в интерферометр излучение, отраженное от различных участков мишени (MultiPointVelocimeter).

Рис. 1. Общий вид интерферометра и его оптическая схема:

1 – оптоволоконный вход; 2 – входной коллиматор; 3 – линия задержки (ЛЗ); 4 – двояковыпуклые линзы; 5 –поляризационные делительные кубики;

6 – асферические фокусаторы; 7 – выход сигнала

Разработанная система позволяет одновременно проводить измерения по семи независимым каналам. Её общая схема и внешний вид приведены на рис.1. Ввод и вывод излучения осуществляется с помощью оптоволоконных жгутов, состоящих из семи независимых оптических волокон. В связи с тем, что смешение излучения из разных каналов недопустимо, а вследствие ограниченности размеров конструкции расположение выходных каналов регистрации достаточно компактно, подобная схема потребовала дополнительного расчета оптической системы, который был осуществлен в программе ZEMAX.

Список литературы

1.Канель Г.И., Фортов В.Е., Разоренов С.В. // УФН. 2007. т.177, №8, С. 209.

2.Канель Г.И., Разоренков С.В., Уткин С.В., Фортов В.Е. Экспериментальные профили ударных волн в конденсированных веществах, М.: Физматлит, 2008 г

3.Глушак Б.Л., Куропатенко В.Ф., Новиков С.А. Исследование прочности материалов при динамических нагрузках, изд-во «Наука» Сибирское отделение, 1992 г.,

4.Зельдович Я.Б., Райзер Ю.П. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений // Изд. 3. М.: Физматлит, 2008 г.

_______________________________________________________________________

Лазерная физика

М.А. МУРЗАКОВ Научный руководитель – В.Н. ПЕТРОВСКИЙ, к.ф.-м.н., доцент

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОСТРУКТУРЫ И ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ

ПРИ ДОБАВЛЕНИИ НАНОЧАСТИЦ ТУГОПЛАВКИХ СОЕДИНЕНИЙ ПРИ ЛАЗЕРНОЙ НАПЛАВКЕ

Данная работа направлена на исследование покрытий, полученных методом лазерной наплавки при использовании металлических порошков, модифицированных наночастицами тугоплавких соединений. Был проведен металлографический анализ полученных покрытий, величина износа покрытия с добавками наночастиц тугоплавких соединений уменьшается в 4-6 раз, в отличии от покрытий без добавок.

В настоящее время активно ведутся работы по получению металлических покрытий на основе тугоплавких соединений путем воздействия лазерного излучения. Были проведены работы по лазерной наплавке порошков с добавлением наночастиц WC и TaC [1]. Полученные покрытия исследовались на микротвердость, изменение микроструктуры, а также были проведены их механические испытания.

При проведении экспериментов по получению покрытий были подобраны основные технологические параметры: P – мощность лазерного излучения, f – расфокусирование, v – скорость обработки, а также рассчитана плотность мощности, она составила 0.68-0.98 МВт/см2. Также был проведен сравнительный металлографический анализ покрытий как с добавками нанопорошка, так и без них. Стоит отметить о получении мелкодисперсной (мелкозернистой) микроструктуры в образцах с добавками наночастиц, что говорит о влиянии этих добавок [2]. Помимо металлографического анализа были проведены испытания на износостойкость покрытия с добавками нанопорошка TaC. На рисунке 1 представлены сравнительные результаты испытаний на абразивный износ покрытий с различной концентрацией нанопорошка по методу Бринелля-Хаворта, абразивом в данном случае выступал речной песок.

Согласно этим результатам износостойкость покрытий с добавлением наночастиц тугоплавких соединений WC и TaC повышается в 4-6 раз в зависимости от концентрации добавок нанопорошка [3]. При измерении микротвердости покрытий было замечено повышение значения на 100-200

_______________________________________________________________________

70 ISBN 978-5-7262-2222-6. XIX конференция «Молодежь и наука»