Материал: Методы и средства испытаний и контроля приборов и систем. Никитин Л.Н., Пирогов А.А

РВН-20 имеют предельное давление 2·10 -2 торр при быстроте откачки несколько литров в секунду, а плунжерные ВН-2МГ, ВН-1МГ, ВН-4Г, ВН-6Г, ВН-300, ВН-500 имеют быстроты откачки десятки и сотни литров в секунду и предельное давление от 2 до 5 • 10 -2 торр. Все насосы, кроме РВН-20 и ВН-461М, снабжаются газобалластными устройствами. Все вращательные насосы являются источником миграции масла в откачиваемый сосуд, а в момент запуска наблюдается выбросы масла, защита от которых должна обеспечиваться маслоотбойниками и ловушками.

Таблица 2.7 Характеристики пластинчато-ротных насосов

116

При остановке насоса, необходимо обеспечивать равенство давлений во всасывающем и выхлопном патрубках насоса, чтобы избежать выдавливания масла атмосферным давлением из насоса в вакуумную систему.

Удельные затраты мощности вращательных насосов в среднем составляют 400 Вт/(л/с).

Двухмоторные насосы откачивают газ, поступающий в пространство между двумя леминискатообразными роторами, вращающимися в противоположные стороны. При скорости вращения роторов несколько тысяч оборотов в минуту можно в зависимости от размеров насоса получать быстроты откачки от десятков до тысяч литров в секунду. Из-за большого зазора между роторами (0,5мм) насосы не могут работать при высоких давлениях. Обратный поток газа, проходящий через зазоры, сильно растет в области вязкостного режима течения газа и снижает эффективность работы насосов. Максимальное рабочее давление двухмоторных насосов не превышает 1-10 торр. Таким образом, для их нормальной работы требуется форвакуумный насос.

К объемным вакуумным насосам относятся также часто применяемые в пищевой и химической промышленностях многопластинчатые вращательные насосы, поршневые и водокольцевые насосы. Многопластинчатые насосы со скользящими лопастями выпускаются в одноступенчатом (типа РВН) и двухступенчатом исполнении (типа ДРВН). Предельное давление таких насосов в одноступенчатом варианте составляет 15 торр, а в двухступенчатом 4 торр. Быстрота откачки находится в пределах от 5 до 1000 л/с.

Водокольцевые насосы типа ВВН для откачки влажного воздуха, кислорода, агрессивных сред выпускаются для работы в диапазоне давлений от 760 до 100 торр с предельным давлением от 15 до 110 торр. Быстрота откачки таких насосов составляет 10 - 800 л/с.

Поршневые вакуумные насосы, выпускаемые промышленностью, бывают трех типов: с клапанным распределением и выравниванием давлений типа ВНК, с

117

принудительным распределением одноступенчатые типа ВНП и двухступенчатые типа ДВНП. Насосы типа ВНК имеют большую быстроту откачки (от 10 до 4000 л/с) при достаточно низком предельном давлении 38 торр. Предельное давление насоса ВНП равно 8 торр, а ДВНП - 0,3 торр при быстрота откачки от 10 до 400 л/с.

Насосы, относящиеся ко второй группе, - эжекторные - работают на принципе вязкостного увлечения газа струёй жидкости или пара. Водоструйные насосы используются, для откачки воздуха от атмосферного давления до давления 15-20 торр.. В качестве примера таких насосов можно назвать насос типа ВВН-01. Этот насос имеет быстроту откачки в рабочем диапазоне давлений около 1 л/с, предельное остаточное давление 15 торр, применяется в качестве форвакуумного насоса при безмасляной откачке. Пароводяные насосы типа ЭП и ЭЭ имеют от двух до пяти последовательно включенных ступеней откачки и находят применение в нефтехимической и металлургической промышленностях. При давлении рабочего пара 1МН/м2 и его расхода от 100 до 4000 кг/ч быстрота откачки насосов лежит в пределах от 2 до 300 л/с. Расход охлаждающей воды соответственно изменяется от 4 до 150

м3/ч.

Пароводяные насосы типа НЭВ имеют в качестве последней ступени водоструйный насос и обеспечивают быстроту откачки от 5 до 30 л/с при предельном давлении 10 торр. Расход охлаждающей воды составляет 0,35-1,4 м3/ч. Паромасляные эжекторные насосы имеют максимальную быстроту откачки в диапазоне давлений от 10 -2 до 10° торр. Наибольшее выпускное давление составляет несколько торр. Паромасляный эжекторный насос ЭН-50 потребляет мощность 1,5кВт и имеет максимальную быстроту откачки 60 л/с при 5·10 -1 торр. Быстрота откачки многоступенчатых паромасляных насосов достигает десятков тысяч литров в секунду.

Парортутные эжекторные насосы имеют повышенное выпускное давление. Например, четырехступенчатый насос

118

ЭН-100Р при быстроте откачки 100 л/с имеет наибольшее выпускное давление 50 торр. Опытные конструкции пароэжекторных насосов работают с выхлопом в атмосферу.

Третья группа насосов - диффузионные - получила наиболее широкое распространение для получения высокого и среднего вакуума. Принцип действия насосов основан на диффузии откачиваемого газа в струю, пара рабочей жидкости, вместе с которой газ уносится к следующей ступени откачки или форвакуумному насосу. Насосы наиболее эффективны в области высокого вакуума, когда скорость диффузии газа в струю, пара максимальна и не зависит от давления откачиваемого газа.

Диапазон рабочих давлений этих насосов лежит в пределах от 10 -7 до 10 -2 торр, быстроты откачки от 6 до 30 000 л/с, наибольшее выпускное давление 0,3 торр. Насосы изготавливаются многоступенчатыми, в качестве последней ступени применяется эжекторный насос.

На основе пароструйных насосов промышленность выпускает вакуумные агрегаты типа ВА. Агрегаты типов ВА- 01-1, ВА-05-4, ВА-2-3, ВД-4, ВА-8-4 предназначены для общего применения и содержат эксцентриковый вакуумный затвор и жалюзную ловушку, охлаждаемую жидким азотом. Диаметр условного прохода высоковакуумного насоса, ловушки и затвора одинаковы. Конструкция элементов указанных агрегатов не допускает прогрева с целью обезгазживания, что ограничивает их предельное давление

5·10 -7 торр.

Агрегаты специального назначения типов ВА-05-5 и ВА- 8-9М содержат прогреваемые до 300-400° С вакуумный затвор и двухрядную азотную ловушку. Предельное давление этих агрегатов 5·10 -9 торр.

Среди паромасляных насосов выделяют группу бустерных насосов, в которых захват газа струёй пара происходит как за счет диффузии газа в струю, так и за счет турбулентно-вязкостного увлечения газа. По сравнению с диффузионными насосами у них значительно увеличена

119

мощность подогревателя, несколько изменена конструкция сопл и используются более стойкие рабочие жидкости (например, масло «Г»).

Диапазон рабочих давлений бустерных насосов 10 -4-10 -1 торр лежит в области среднего вакуума. Ртуть в качестве рабочей жидкости, несмотря на токсичность и более высокую, чем у масел, упругость пара при комнатной температуре, применяется для безмасляной откачки масс-спектрометров, ускорителей и приборов с ртутным наполнением - мощных ртутных выпрямителей. Ртуть не разлагается при длительном нагреве и мало чувствительна к прорывам атмосферного воздуха в насос, что позволяет увеличить максимальное выпускное давление и срок службы насосов. В настоящее время разработано большое количество рабочих жидкостей для пароструйных насосов.

Откачивающее действие молекулярных насосов основано на увлечении молекул газа непрерывно движущимися твердыми поверхностями. Широкое распространение получили выпускаемые промышленностью турбомолекулярные насосы типа ТВН-200, ТМН-200, ТМН500. Конструкция насосов напоминает собой осевой многоступенчатый компрессор с закрепленными на корпусе статорными дисками и вращающимися дисками, укрепленными на роторе. В статорных и роторных дисках выполнены косые прорези зеркально по отношению друг к другу. Зазоры между подвижными и неподвижными дисками составляют примерно 1 мм, частота вращения ротора 18 000 об/мин. Насос ТМН-200 отличается от ТВН-200 встроенным приводом, расположенным в форвакуумной камере. Предельное остаточное давление, достигаемое этими насосами, составляет 5·10 -9 торр. Диапазон рабочих давлений 10 –8-10 -2 торр. Быстрота откачки у ТВН-200-200 л/с, у ТМН-200-250 л/с. На базе насоса ТВН-200 промышленностью выпускается высоковакуумный агрегат типа ТВА-200.

Преимуществом молекулярных насосов является отсутствие загрязнений в спектре остаточных газов, что

120