lЭ |
lБ |
a
3 |
1 |
1 |
|
w′ |
|
|
|
П |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
К |
|
|
|
|
|
w |
|
Э |
|
|
|
|||||||||||
|
|
w |
|
|
w |
|
|
|
w |
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
lК |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
lБ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
lБ |
|
|
lЭ |
|
|
|
б |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w′
|
|
|
|
|
|
|
|
Э |
|
|
|
|
|
К |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
П |
|
w |
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
||||||||
w |
|
w |
|
|
5 |
|
|
w |
|
2 |
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
lК |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
lБ
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
в |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rБ2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rЭ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
rБ1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Э |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w′ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
П |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
К |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w |
|
|
|
|
w |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
rК |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rБ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
г |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rБ3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rБ2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rЭ1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
|
||||||||||
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rБ1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Э |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w′
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
П |
|
|
|
|
|
|
w |
|
К |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w |
|
w |
|
|
rЭ2 |
|
|
|||||||
|
|
2 |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
4 |
|
rБ |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
rК
- 11 -
Рис. 5. Структуры сплавных транзисторов:
полосковые:
а – с одним эмиттером, б – с двумя эмиттерами,
осесимметричные:
в – с круглым эмиттером, г – с кольцевым эмиттером.
1 – эмиттер;
2 – коллектор;
3 – базовая пластинка;
4 – активная часть базы;
5 – пассивная часть базы
Поскольку fгр = ωα
2π, для оценки толщины активной части базы можно воспользоваться соотношением
w = |
DБН |
. |
(1) |
|
|||
|
π fгр |
|
|
Рассмотрение работы транзистора в активном режиме проводят на основе одномерной идеализированной теоретической модели [4]. Коэффициент передачи тока эмиттера α можно представить в виде произведения [2]: α = γαпM , где γ – коэффициент эффективности эмиттера, αп – коэффициент переноса неосновных носителей через базу, М – коэффициент лавинного умножения носителей в коллекторном переходе.
Коэффициент эффективности эмиттера показывает долю тока инжекции неосновных носителей в базу в полном токе через эмиттерный переход. Поскольку концентрация примесей в эмиттере на несколько порядков больше, чем в базе, на практике значение γ мало отличается от единицы и для инженерных расчетов можно полагать γ = 1. Если транзистор работает при относительно малом коллекторном напряжении, так что UКБ < UК проб , можно
считать М = 1.
Коэффициент переноса αп характеризует рекомбинационные потери неосновных носителей в базе. Объёмные потери учитываются выражением, полученным для одномерной идеализированной модели транзистора на постоянном токе:
αп =1 − |
1 |
|
w 2 |
|
|
|
|
. |
|
2 |
|
|||
|
|
LБ |
||
С учетом рекомбинации на поверхности базы коэффициент переноса может быть записан в виде [4]:
|
1 |
|
w 2 |
sS p w |
|
|||
αп =1 − |
|
|
|
|
− |
|
. |
(2) |
2 |
|
|
||||||
|
|
LБ |
|
SЭDБН |
|
|||
Скорость поверхностной рекомбинации s определяется материалом транзистора и технологией обработки поверхности. В германиевых транзисторах типичные значения s лежат в диапазоне от 50 до 500 см/с, в кремниевых – от 20 до 2000 см/с. В формуле (2) Sр – эффективная площадь поверхностной рекомбинации. Для сплавного транзистора принято считать [4], что Sp определяется площадью полосы, прилегающей к эмиттеру, шириной по-
- 12 -
рядка толщины пассивной части базы wп = w + wЭ , поэтому
S p = ПЭwп , |
(3) |
где ПЭ – периметр эмиттера. Формула (2) |
справедлива при выполнении |
условия swп ≤ 0, 2DБН . При заданном значении s толщину базовой пластины следует выбирать так, чтобы данное условие выполнялось, учитывая при этом, что глубины вплавления эмиттера и коллектора одинаковы: wЭ = wK . Используя выражение для коэффициента αп (2), следует оценить толщину базы w, исходя из определенного заданием коэффициента передачи тока базы
h |
= |
|
α |
. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
21Э |
|
1 − α |
|
|
|
||
Если α ≈ αп , то |
|
|
|
|
|
|
|
αп =1 − |
1 |
|
|
. |
(4) |
||
|
|
|
|
||||
h21Э + |
|
||||||
|
|
1 |
|
||||
Используя выражение для эффективной площади рекомбинации (3), коэффициент переноса αп с учётом (2) можем записать в виде
|
|
|
α |
п |
=1 − Bw2 − Aw(w + w ), |
(5) |
||
|
|
|
|
|
|
Э |
|
|
где A = |
sПЭ |
, B = 0,5 |
L2 . Из (4) и (5) легко получается в квадратное урав- |
|||||
|
||||||||
|
SЭDБН |
Б |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
нение относительно w: |
|
|
|
|
|
|
||
( |
A + B)w2 + Aww |
− (h |
+1)−1 |
= 0 , |
||||
|
|
|
|
|
Э |
21Э |
|
|
решая которое определим толщину активной части базы:
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
+ A2w2 |
|
4 |
(A + B) |
||||
w = |
|
|
−Aw |
+ |
|
|
|
. |
|||
|
|
|
|
||||||||
2 |
(A + B) |
Э |
|
Э |
|
h21Э +1 |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рассчитав и построив зависимость w = f (wЭ ), |
можно выбрать толщину ак- |
||||||||||
тивной части базы так, чтобы она согласовывалась с результатами выполненной ранее оценки w по значению граничной частоты.
Теперь следует выбрать толщину активной части базы так, чтобы граничная частота fгр и параметр h21Э были не меньше, чем их значения, ука-
занные в задании. Поэтому w выбирают наименьшей из двух значений, полученных при данных оценках.
При выборе толщины активной части базы необходимо иметь в виду, что со стороны малых значений w также ограничена. В сплавных транзисто-
- 13 -
рах со слаболегированной базой возможно смыкание эмиттерного и коллекторного переходов, причём толщина коллекторного перехода простирается на всю толщину активной части базы. Поэтому при напряжении на коллекторе, равном напряжению смыкания переходов Uсмк , можно записать приближенное соотношение [3]
Uсмк » w2qNБ ,
2eпe0
где q = 1,6×10–19 Кл – заряд электрона, εп – диэлектрическая проницаемость полупроводника, e0 = 8,85×10–14 Ф/см.
Толщину активной части базы выбирают таким образом, чтобы напряжение смыкания переходов было несколько больше максимально допустимого напряжения на коллекторном переходе UКБmax :
|
|
|
|
|
|
|
|
|
w ³ |
2ee(jк + |
|
UКБmax |
|
) |
. |
||
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
||||
|
|
qNБ |
||||||
При выборе толщины активной части базы сплавного транзистора следует также иметь в виду, что изготовление транзистора с толщиной активной части базы менее 20 мкм является трудновыполнимой технологической задачей.
После того как окончательный выбор толщины активной части базы w сделан, следует уточнить соответствующие выбранному значению w граничную частоту fгр по формуле (1) и коэффициент передачи тока базы h21Э по формулам (4), (5). Уточненные значения fгр и h21Э следует использовать для дальнейших расчетов.
Построение зонных энергетических диаграмм
Для построения зонных энергетических диаграмм проектируемой транзисторной структуры необходимо рассчитать контактную разность потенциалов любого из р–n -переходов транзистора:
ϕк = kT ln N A ND . q ni2
Ширина слоя объемного заряда резко несимметричного р–n -перехода при
- 14 -
подаче на него напряжения U определяется выражением
|
|
|
|
|
|
|
d = |
2εпε0 |
(ϕк −U ) |
|
|||
|
|
. |
(6) |
|||
|
|
|||||
qNБ
Глубина залегания уровня Ферми ЕF по отношению к середине запрещенной зоны Ei базового полупроводника биполярного транзистора может быть рассчитана по одной из формул:
Ei − EF = kT
|
q |
|
q |
|
ni |
для полупроводника р-типа; |
|
|
|
|
|
|
EF − Ei |
= |
kT |
ln |
NД |
|
q |
q |
ni |
||
|
|
|
|||
для полупроводника n-типа.
При заданном токе эмиттера напряжение на эмиттерном переходе можно оценить из соотношения [4]:
UЭБ = |
kT |
IЭw |
||
|
ln |
|
. |
|
|
|
|||
|
q |
SЭqDБНNБН |
||
Расчет элементов физической эквивалентной схемы
Свойства транзистора – усилителя малого переменного сигнала в заданном режиме по постоянному току принято описывать с помощью физической эквивалентной схемы. Расчет параметров эквивалентной схемы проводят на основе анализа основных физических процессов, происходящих в транзисторе, с учетом схемы его включения. Будем рассматривать эквивалентную схему транзистора, включенного по схеме с общей базой и работающего в активном режиме.
Физическая эквивалентная схема транзистора в соответствии с идеализированной моделью [4] состоит всего из двух элементов, основным из которых является генератор тока αɺIɺЭ . Он отражает перенос тока из эмиттерной цепи в коллекторную и усилительные свойства транзистора. Параллельно ге-
ɺ ɺ |
должно быть включено сопротивление коллектора rК. По |
|||||||
нератору тока αIЭ |
||||||||
определению |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
-1 |
= |
∂IK |
|
|
. |
||
|
|
|||||||
|
rК |
|
|
|
|
|
||
|
∂U |
KБ |
|
IЭ =const |
||||
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
- 15 - |
|
|
|
|
|