Оглавление |
|
ВВЕДЕНИЕ.............................................................................................................. |
3 |
1. ОСНОВНЫЕФИЗИЧЕСКИЕХАРАКТЕРИСТИКИ |
|
ИОННЫХПОТОКОВИГАЗОРАЗРЯДНОЙПЛАЗМЫ.................................. |
4 |
1.1. Динамика упругих бинарных столкновений............................................. |
4 |
1.2. Сечение дифференциального рассеяния................................................... |
7 |
1.3. Торможение ионов....................................................................................... |
8 |
1.4. Ядерное торможение................................................................................. |
10 |
1.5. Электронное торможение ......................................................................... |
11 |
1.6. Распыление................................................................................................. |
12 |
1.7. Характеристики газоразрядной плазмы.................................................. |
15 |
2. ФИЗИЧЕСКАЯМОДЕЛЬОСАЖДЕНИЯПЛЕНОК |
|
ВПРОЦЕССЕИОННО-ПЛАЗМЕННОГОРАСПЫЛЕНИЯ........................... |
20 |
3. ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЬ РАСЧЕТА.......................................................... |
29 |
4. СВЕДЕНИЯ ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ РАСЧЕТНЫХ ЗАДАНИЙ................... |
33 |
Список литературы ............................................................................................... |
35 |
Семенов Александр Анатольевич |
|
Белявский Павел Юрьевич |
|
Никитин Андрей Александрович |
|
Мыльников Иван Леонидович |
|
Анализ технологических режимов |
|
ионно-плазменного распыления |
|
в технологии устройств электроники и радиофотоники |
|
Учебное пособие |
|
Редактор И. Г. Скачек |
|
Компьютерная верстка Е. С. Николаевой |
|
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– |
|
Подписано в печать 10.10.18. Формат 60×84 1/16. |
|
Бумага офсетная. Печать цифровая. Печ. л. 2,25. |
|
Гарнитура «Times New Roman». Тираж 70 экз. Заказ 139. |
|
–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– |
|
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ» |
|
197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5 |
|
36