Федеральное государственное бюджетное учреждения науки Ордена Трудового Красного Знамени Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук и Федеральное государственное бюджетное учреждения науки Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук
На правах рукописи
Губанова Надежда Николаевна
Золь-гель синтез и физико-химическое исследование пористых объемных и тонкопленочных материалов на основе диоксида циркония и диоксида кремния, легированного платиной и палладием
02.00.04– физическая химия
02.00.01– неорганическая химия
ДИССЕРТАЦИЯ на соискание ученой степени
кандидата химических наук
Научный руководитель:
доктор химических наук, профессор, Шилова Ольга Алексеевна
доктор химических наук, член-корреспондент РАН Иванов Владимир Константинович
Санкт-Петербург – 2019
2
Оглавление
ВВЕДЕНИЕ.................................................................................................................................................. |
6 |
ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗА МАТЕРИАЛОВ |
|
НА ОСНОВЕ АЛКОКСИДОВ КРЕМНИЯ И МЕТАЛЛОВ С ЛИГИРУЮЩИМИ ДОБАВКАМИ |
|
(ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ).......................................................................................................................... |
15 |
1.1. Методы синтеза материалов на основе ZrO2 и SiO2. Достоинства и недостатки..................... |
15 |
1.2. Особенности золь-гель синтеза материалов и покрытий на основе алкоксидов кремния и |
|
циркония................................................................................................................................................ |
19 |
1.2.1. Монолитные материалы, полученные по золь-гель технологии на основе аморфного |
|
диоксида циркония................................................................................................................................ |
23 |
1.2.2. Тонкие кремнеземные пленки, полученные по золь-гель технологии................................... |
26 |
1.3 Использование в золь-гель синтезе неорганических соединений в качестве легирующих |
|
добавок................................................................................................................................................... |
26 |
1.4. Важнейшие приемы золь-гель технологии: ультразвуковая обработка и режимы |
|
термообработки..................................................................................................................................... |
27 |
1.5. Применение материалов на основе диоксида циркония и силикатных покрытий, |
|
содержащих легирующие добавки...................................................................................................... |
30 |
Заключение по главе 1.......................................................................................................................... |
31 |
ГЛАВА 2. МЕТОДЫ И ПОДХОДЫ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗА МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ |
|
ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ И ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, СОДЕРЖАЩИХ НЕОРГАНИЧЕСКИЕ |
|
СОЕДИНЕНИЯ ПЛАТИНЫ И ПАЛЛАДИЯ (МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА) ............................. |
32 |
2.1. Золь-гель синтез гелей на основе диоксида циркония с использованием в качестве |
|
прекурсора пропилата циркония (IV).................................................................................................. |
32 |
2.1.1. Золь-гель синтез порошков на основе диоксида циркония с использованием в качестве |
|
прекурсора пропилата циркония (IV).............................................................................................. |
33 |
2.1.2. Получение стеклообразных гелей «циркониевых стекол».................................................. |
34 |
2.1.3. Получение аэрогелей на основе ZrO2 золь-гель методом.................................................... |
39 |
2.2. Синтез кремнезолей, содержащих соединения платины и палладия........................................ |
43 |
2.2.1. Формирование силикатных покрытий, содержащих соединения платины и палладия... |
45 |
ГЛАВА 3. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ .................................................................. |
46 |
3.1. Феноменологические наблюдения............................................................................................... |
46 |
3.1.1. Контроль процесса гелеобразования..................................................................................... |
46 |
3.1.2. Контроль состояния поверхности покрытий........................................................................ |
46 |
3.2. Микроскопия.................................................................................................................................. |
46 |
3.2.1. Оптическая микроскопия ....................................................................................................... |
46 |
3.2.2. Растровая электронная микроскопия (РЭМ) ........................................................................ |
46 |
3.2.3. Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ)........................................................... |
47 |
3.2.4. Атомно-силовая микроскопия (АСМ)................................................................................... |
47 |
3.3. Термический анализ....................................................................................................................... |
47 |
3 |
|
3.4. Спектроскопия................................................................................................................................ |
48 |
3.4.1. Спектроскопия......................................................................................................................... |
48 |
3.4.2. Рамановская спектроскопия................................................................................................... |
48 |
3.4.3. Метод спектрофотометрии..................................................................................................... |
48 |
3.4.4. Методы рентгеновской спектроскопии поглощения, EXAFS (спектроскопия |
|
протяжённой тонкой структуры рентгеновского поглощения) и XANES (около пороговая |
|
тонкая структура рентгеновского спектра поглощения)............................................................... |
49 |
3.5. Рентгенофазовый и рентгенографический анализ...................................................................... |
49 |
3.6. Метод низкотемпературной адсорбции газов............................................................................. |
50 |
3.7. Спектральная эллипсометрия ....................................................................................................... |
50 |
3.8. Томография..................................................................................................................................... |
51 |
3.9. Методы малоугового рассеяния.................................................................................................... |
51 |
3.9.1. Метод малоуглового рассеяния нейтронов (МУРН) и ультрамалоуглового рассеяния |
|
нейтронов (УМУРН)......................................................................................................................... |
51 |
3.9.2. Метод малоуглового рассеяния рентгеновского излучения (МУРР)................................. |
53 |
3.9.3. Метод малоуглового рассеяния рентгеновских лучей в скользящей геометрии (GISAXS) |
|
............................................................................................................................................................. |
53 |
3.10. Метод рефлектометрии рентгеновского излучения.................................................................. |
53 |
3.11. Метод спектрометрии RBS (метод резерфордовского обратного рассеяния)........................ |
54 |
3.12. Метод циклической вольтамперометрии................................................................................... |
54 |
Заключение по главе 3.......................................................................................................................... |
55 |
ГЛАВА 4. СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРОЕНИЕМ
И СВОЙСТВАМИ КСЕРОГЕЛЕЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ ИЗ ЗОЛЕЙ ПРОПОКСИДА ЦИРКОНИЯ.... |
57 |
4.1. Влияние условий синтеза на процесс формирования золей в растворе и получения сухих |
|
гелей....................................................................................................................................................... |
57 |
4.2. Состояние поверхности ксерогелей на основе ZrO2 ................................................................... |
57 |
4.3. Зависимость мезоструктуры ксерогелей от рН раствора........................................................... |
58 |
4.4. Зависимость мезоструктуры ксерогелей от ультразвукового воздействия.............................. |
60 |
Заключение по главе 4.......................................................................................................................... |
64 |
ГЛАВА 5. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРОЕНИЕМ И СВОЙСТВАМИ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ГЕЛЕЙ («ЦИРКОНИЕВЫХ СТЕКОЛ»), ПОЛУЧАЕМЫХ
ИЗ ПРОПОКСИДА ЦИРКОНИЯ............................................................................................................ |
65 |
5.1. Влияние условий синтеза на процесс формирования и свойства стеклообразных гелей на |
|
основе ZrO2 ............................................................................................................................................ |
65 |
5.2. Исследование влияния условий синтеза на характеристики пористостой структуры |
|
«циркониевых стекол».......................................................................................................................... |
70 |
5.3. Исследование особенностей мезоструктуры «циркониевых стекол» методами МУРН, |
|
УМУРН и МУРР ................................................................................................................................... |
74 |
4 |
|
5.4. Исследование фазового состава «циркониевых стекол»............................................................ |
82 |
5.5. Исследование локальной структуры «циркониевых стекол» методами EXAFS и XANES.... |
85 |
5.6. Определение элементного состава «циркониевых стекол»....................................................... |
87 |
5.7. Оптические характеристики монолитных «циркониевых стекол»........................................... |
88 |
Заключение по главе 5.......................................................................................................................... |
93 |
ГЛАВА 6. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРУКТУРОЙ И |
|
СВОЙСТВАМИ АЭРОГЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ.......................................... |
95 |
6.1. Влияние условий золь-гель синтеза на мезоструктуру и фазовый состав аэрогелей.............. |
95 |
6.2. Эволюция пористости и фазового состава аэрогелей в процессе термообработки............... |
102 |
Заключение по главе 6........................................................................................................................ |
108 |
ГЛАВА 7. НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ КРЕМНЕЗОЛЕЙ, |
|
СОДЕРЖАЩИХ СОЕДИНЕНИЯ ПЛАТИНЫ И ПАЛЛАДИЯ......................................................... |
110 |
7.1. Исследование влияния длительности созревания и концентрации легирующих добавок |
|
соединений платины и палладия на морфологию поверхности и пористость кремнеземных |
|
пленок, допированных Pt и Pd ........................................................................................................... |
110 |
7.1.1. Платиносодержащие кремнеземные пленки...................................................................... |
110 |
7.1.2. Палладий и платина-палладий- содержащие кремнеземные пленки............................... |
116 |
7.2. Исследование влияния длительности созревания золя, концентрации легирующих добавок соединений платины и палладия и ТЭОСа на толщину силикатных пленок. Особенности распределения легирующих соединений платины и палладия по толщине силикатных пленок119
7.2.1. Седиментационная устойчивость и пленкообразующие свойства кремнезолей, |
|
допированных соединениями платины и палладия..................................................................... |
119 |
7.2.2. Толщинный профиль платино- и палладий содержащих кремнеземных пленок........... |
120 |
7.3. Фазовый состав платино- и палладийсодержащих ксерогелей и пленок............................... |
127 |
7.3.1. Фазовый состав допантов и размер наночастиц платины в кремнеземной матрице...... |
127 |
7.3.2. Фазовый состав допантов и размер наночастиц палладия в кремнеземной матрице..... |
130 |
7.3.3. Фазовый состав допантов и размер наночастиц в композитах, полученных из |
|
кремнезолей, содержащих одновременно соединения платины и палладия............................. |
131 |
7.3.4. Зависимость размера образующихся кристаллитов наночастиц Pt/Pd в кремнеземной |
|
матрице от способа ее формирования и количества прекурсора ТЕОС в исходном золе. |
|
Особенности структуры кристаллитов Pt/Pd, распределенных в кремнеземной матрице....... |
135 |
7.4. Анализ химических процессов, происходящих при гелеобразовании и пленкообразовании в
кремнезолях, содержащих соединения платины и палладия.......................................................... |
140 |
7.4.1. Исследование влияния соединений платины на процессы структурообразования и |
|
пленкообразования в кремнезолях на основе ТЭОС................................................................... |
140 |
7.4.2. Исследование влияния одновременного присутствия в кремнезоле соединений платины
и палладия на процессы структурообразования и пленкообразования..................................... |
141 |
7.5. Применение силикатных пленок, легированных платиной и палладием, в качестве |
|
каталитических слоев в устройствах электронной техники и энергетики.................................... |
145 |
5 |
|
Заключение по главе 7........................................................................................................................ |
149 |
ВЫВОДЫ................................................................................................................................................. |
151 |
Перечень сокращений............................................................................................................................. |
154 |
Список использованной литературы..................................................................................................... |
155 |
Приложение 1. Результаты термического анализа образцов с одновременным анализом состава |
|
отходящих газов для ксерогелей Zr_К_2, Zr_К_5 и Zr_К_8_УЗ....................................................... |
174 |
Приложение 2. Результаты термического анализа образца с одновременным анализом состава |
|
отходящих газов для «циркониевого стекла» Zr_C_N_1V(iPrOH)-0,25V(H2O)-лед........................ |
177 |