Если параметры Фп, Ф*п, D и D* измеряют по отношению к монохроматическому излучению, то в их обозначениях указывают индекс длины волны излучения l, например D*l.
Параметры питания. Рабочее напряжение на ФД Up, выбираемое с запасом по отношению к пробивному напряжению. Максимально допустимое напряжение (Umax), при котором отклонения от номиналов меньше допустимых. Допустимая мощность рассеивания (Рдоп), определяется разогревом ФД. Темновое сопротивление (RТ) и темновой ток (IТ) ФД, определяемые при U = Up и при отсутствии потока излучения, падающего на ФД.
. Инерционность, переходные и частотные
характеристики ФД. Процесс инерционности ФД легко проследить на примере решения
уравнения кинетики фотопроводимости, когда изменение во времени концентрации
избыточных носителей DN имеет вид
(78)
где t - среднее время жизни носителей до момента рекомбинации;
Ф - скорость световой генерации этих носителей в единице объема среды.
Решение этого уравнения при
начальных условиях t = 0; DN = 0 имеет
вид
(79)
и характеризует переходной процесс инерционного нарастания DN во времени (передний фронт импульса фототока). А при начальных условиях t = 0; DN = Фt решение DN = Фte-t/t определяет переходной процесс спада импульса фототока.
Видно, что чем меньше t тем меньше инерционность фотопроводимости, но зато меньше и сам эффект фотопроводимости, то есть меньше чувствительность ФД, так как меньше стационарное значение DN = Фt. Частотная характеристика ФД DN = f(f), которую легко получить, решая (78) при Ф = = Ф0sin2pft, имеет вид DN = Фt/[1 + (2pft)2]0,5 и показывает, что амплитуда фототока (j ~ DNa) уменьшается при тем меньших f, чем больше t, то есть 1/t определяет частоту завала частотной характеристики ФД. На практике кроме времени t на все упомянутые характеристики влияет время релаксации переходных процессов в схеме (tCX) питания ФД. Если tCX > t, то именно tCX и будет определять инерционность ФД.
. Внешние характеристики - вольтамперная характеристика ФД (I = I(f)); энергетическая (световая) характеристика (I = I(Ф)) температурные характеристики - зависимости параметров и характеристик от температуры ФД.
Определив основные характеристики и параметры фотодетекторов, перейдем к рассмотрению простейших фотоприборов.
Фотодиодами называют полупроводниковые приборы, основанные на внутреннем фотоэффекте, использующие одностороннюю проводимость p-n-перехода, при освещении которого появляется ЭДС (фотогальванический режим) или (при наличии питания) изменяется значение обратного тока (фотодиодный режим). Фотодиоды (ФД) можно изготавливать на основе гомоперехода (p-n-перехода), гетероперехода и контакта n-полупроводника и металла (барьера Шотки).
Односторонняя проводимость (вентильный фотоэффект) возникает при освещении одной или обеих областей p-n-перехода. При работе ФД в фотогальваническим режиме в случае освещения n-области в ней образуются новые носители заряда - электроны и дырки. Они диффундируют к p-n-переходу, где дырки - переходят в p-область (обратный ток неосновных носителей), а электроны, для которых диффузионное поле p-n-перехода является запирающим, остаются в n-области. В результате при постоянном освещении в p-области накапливаются дырки, а в n-области - электроны. Это приводит к появлению фото-ЭДС, поле которой понизит одностороннюю проводимость p-n-перехода, что увеличит прямой ток основных носителей.
При разомкнутой внешней цепи и неизменном освещении прямой ток будет увеличиваться до тех пор, пока токи основных и неосновных носителей не уравновесятся, при этом между электродами p-n-перехода устанавливается некоторая разность потенциалов холостого хода Vx.x, возникающая под действием освещения.
При подключении к контактам фотодиода нагрузки и отсутствии освещения через p-n-переход и нагрузочное сопротивление потечет ток термически генерированных неосновных носителей I0 называемый темновым током. При освещении появляется дополнительный фототок неосновных носителей IФ = SiФ.
Общий ток в цепи ФД в
фотогальваническом режиме определяется как
(80.)
где UR = IRн - падение
напряжения на нагрузке от протекающего в цепи тока.
Рис. 41
Это выражение позволяет построить вольт-амперные характеристики фотогальванического режима (область II на рис. 41).
При работе ФД в фотодиодном режиме
(используемом в фотоприемниках) к нему прикладывают обратное напряжение
(область 1 на рис. 41). В этом случае в отсутствии освещения через p-n-переход и
сопротивление нагрузки протекает обратный дырочный ток I0. При
освещении же n-области
через p-n-переход и
сопротивление нагрузки будет протекать дополнительный дырочный фототок
неосновных носителей IФ. Суммарный
ток в цепи будет складываться из темнового тока и фототока неосновных
носителей. Выражение для вольт-амперной характеристики фотодиодного режима
имеет вид
(81)
где U - напряжение внешнего источника.
Рассмотрим схемы включения, вольт-амперные характеристики и выбор нагрузки ФД.
В фотогальваническом режиме работы ФД напряжение на p-n-переходе определяется током, протекающим в цепи нагрузки, согласно формуле (80).
Если Rн ® ¥, то ток во
внешней цепи I = 0, а
вместо UR в (80)
можно подставить значение Uxx -
напряжения холостого хода
После преобразований найдем
напряжения холостого хода
(82)
Линейность характеристики Uxx = f(Ф)
наблюдается только на начальном участке при IФ << I0. Чтобы
получить максимальную вольтовую чувствительность, соответствующую Rн = ¥,
продифференцируем уравнение (82)
(83)
где I0 - темновой ток насыщения при Ф = 0, IФ = SiФ, R0 = bkT/qI0 - сопротивление p-n-перехода при нулевом напряжении.
Для комнатной температуры
(84)
Можно получить приближенные формулы при IФ
<< I0:
а при IФ
<< I0
Видно, что вольтовая чувствительность в фотогальваническом режиме уменьшается с увеличением потока излучения, падающего на ФД.
Фотогальванический режим не требует источника питания и обеспечивает существенно меньшие шумы, что часто компенсирует потери чувствительности, так как позволяет реализовать большее отношение сигнал/шум (с/ш). ФД в фотогальваническом режиме имеют малой внутреннее сопротивление, поэтому их используют в цепях с малым сопротивлением нагрузки.
В фотодиодном режиме (область I рис.41) при изменении сопротивления нагрузки меняется угол наклона прямых a, tga = I/R = I/Uн. Поменяем для области I знаки полярности напряжения и тока на рис.41.
При этом падение напряжения на
нагрузке и ФД будут соответственно
Uн =
IRн; UФД = U
- IRн.
Ток внешней цепи в фотодиодном
режиме при приложении напряжения питания U в
запирающем направлении I = I0 + IФ. Откуда
IRн = Uн = SiФRн + I0Rн.
Продифференцировав это выражение, получим
формулу для интегральной вольтовой чувствительности ФД
SU
= dUн/dФ
= SiRн.
(85)
Таким образом, чтобы повысить вольтовую
чувствительность, необходимо увеличить сопротивление нагрузки Rн.
Максимальное значение Rнmax
связано с максимальным потоком излучения, который можно зарегистрировать ФД,
следующим соотношением:
Rнmax
= U/(Iфmax
+ I0) = U/(SiФmax
+ I0). (86)
При этом точка пересечения прямой нагрузки с вольт-амперной характеристикой, соответствующей максимальному потоку излучения Фmax, должна лежать в области диодного режима.
С учетом выражения (84) можно получить приближенные формулы для SUmax при IФ >> I0 SUmax @ U/Фmax, и SUmax @ Si(U/I0) при IФ << I0.
Если IФ >> I0, то максимальная вольтовая чувствительность не зависит от параметров ФД, а если IФ << I0, то она тем больше, чем меньше значение темнового тока I0. При работе ФД с модулированным сигналом от объекта на фоне немодулированной фоновой засветки целесообразно иметь минимальную вольтовую чувствительность по постоянному току (от фона) и максимальную по переменному току (от объекта). Для этого используют трансформаторную или дроссельную схемы включения ФД, позволяющие получить большое сопротивление по переменному току (индуктивное сопротивление) и малое по постоянному току (активное сопротивление).
ФД в фотодиодном режиме обладают значительным внутренним сопротивлением и применяются в цепях с большим сопротивлением нагрузки.
Работа с малыми сигналами в фотогальваническом режиме предъявляет особые требования к усилителю, который должен при больших коэффициентах усиления иметь малый уровень шума, что ограничивает использование этого режима в фотоприемниках.
Постоянная времени ФД (tФД)
определяется временем пролета носителей от места их генерации под действием
освещенности (в тонком поверхностном слое) до p-n-перехода,
где они рекомбинируют, и постоянной времени схемной релаксации tр
(RC-цепочка ФД),
которая обычно у ФД не превышает 10-9 с. Поэтому при глубине
залегания p-n-перехода
(толщине базы) в несколько микрометров время переноса неосновных носителей
составляет 10-7 - 10-8 с, что и определяет tФД.
Рис. 42
Помимо планарных фоторезисторов (не применяемых в фотоприемниках из-за низкого квантового выхода и значительных шумов) существуют фоторезисторы со структурой металл-полупроводник-металл (м-п-м), которые могут использоваться в системах с высокой интенсивностью оптического излучения. Типовые конструкции такого фоторезистора и фотодиода показаны на рис. 42, а (фоторезистор) и рис. 42, б (фотодиод), где КС - контактный слой; П - подложка; ФПС - фотопроводящий слой; Б - база ФД.
Конструкции ФД с барьером Шотки и гетероструктурных ФД похож на конструкции светодиода, причем ФД на основе диода с барьером Шотки имеют на приемной поверхности тонкую (2-10 нм) пленку золота, мало поглощающую свет, которая контактирует с полупроводником n-типа, расположенным глубже, причем если этот полупроводник GaP, то такой диод хорошо принимает ультрафиолет (максимум спектральной характеристики приходится на 0,4 мкм). Приемная поверхность полупроводниковых ПИ в наиболее ответственных случаях покрывается тонкой согласующей пленкой, имеющей толщину 0,25l(eотнп)0,5, где l - принимаемая длина волны света, eотнп =(eотн)0,5 - относительная диэлектрическая проницаемость материала пленки, причем eотн - относительная диэлектрическая проницаемость среды, которую покрывает пленка (“голубая оптика”).
Лавинные и p-i-n фотодиоды
В быстродействующих фотоприемниках с полосой частот до нескольких гигагерц применяются фотодиоды с p-i-n-структурой и лавинные фотодиоды (ЛФД).
ФД с p-i-n-структурой состоит из n+-подложки, слаболегированного слоя (i-слоя) и тонкого p+- слоя толщиной 0,3 мкм. При приложении обратного смещения обедненный слой распространяется на весь i-слой и слой собственной проводимости. В результате уменьшается емкость перехода, расширяется область поглощения света и повышается чувствительность ФД. Падающий свет, затухая по экспоненциальному закону в зависимости от значения коэффициента поглощения a, вызывает появление фотовозбужденных носителей заряда. Фотовозбужденные носители, появившиеся в обедненном слое, ускоряются ЭП обедненного слоя (³ 103 В/см) до скорости насыщения дрейфа (~ 107 см/с). Эту область называют областью дрейфа. Так как фотовозбужденные носители за пределами обедненного слоя в р+- и n+-слоях движутся за счет диффузии, то их скорость движения, равная »104 см/c, оказывается на три порядка ниже скорости дрейфа. Этот диффузионный ток является причиной ухудшения быстродействия ФД, которое проявляется в виде “хвоста” импульсной характеристики. Поскольку эти возбужденные носители перемещаются на расстояние порядка диффузионной длины и рекомбинируют, то тем самым уменьшается квантовый выход. Чтобы одновременно удовлетворить требованиям быстродействия и высокого квантового выхода, необходимо, чтобы область поглощения света находилась в обедненном слое. Для этого при проектировании фотодиода делают р+-слой как можно тоньше, а толщину i-слоя выбирают большей длины поглощения света (1/a). При этом длина поглощения для кремния на длине волны 0,8 мкм составляет 10-20 мкм, а величина рабочего напряжения, необходимая для получения достаточно широкого обедненного слоя, оказывается сравнительно низкой - порядка 1-20 В.