этом энергия электронов увеличивается, чему соответствуют переходы электронов на свободные уровни с большими значениями энергии в разрешенной зоне ЭД.
Основным отличием ЭД металла от ЭД полупроводника (диэлектрика) является отсутствие на ЭД металла запрещенной зоны между заполненными и незаполненными уровнями. В металле уровень Ферми находится в разрешен-
ной зоне (рис. 1.3, а).
В собственном (беспримесном) полупроводнике уровень Ферми находится в середине запрещенной зоны. На рис. 1.3, б приведена ЭД такого полупроводника. Очевидно, что при Т = 0 К
Рис. 1.3. Энергетическая диаграмма: валентная зона в этом полупроводнике а – металла; б – полупроводника заполнена электронами полностью, а в зоне проводимости они отсутствуют (рис. 1.3, б). При Т > 0 К за счет теплового возбуждения часть электронов в полупроводнике переходит из валентной зоны на энергетические уровни, принадлежащие зоне проводимости. Физически это означает ионизацию атомов полупроводника, а ширина запрещенной зоны EG соответствует, таким образом, энергии ионизации этих атомов. В ре-
зультате обе зоны (валентная и проводимости) оказываются частично заполненными. Свободные энергетические уровни в валентной зоне принято называть «дырками». Понятием «дырка» пользуются для описания составляющей тока, переносимой электронами валентной зоны.
К диэлектрикам обычно относятся полупроводники, у которых ширина запрещенной зоны EG более 2 эВ.
Решение. В металлах при любой температуре одна из разрешенных зон является частично заполненной, т. е. имеется возможность протекания электрического тока. Поэтому для металлов характерны большая удельная электропроводность σ и относительно слабая ее зависимость от температуры. Протекание тока через полупроводник при Т = 0 К невозможно (σ = 0) из-за наличия на его ЭД частично заполненных разрешенных зон. При Т > 0 К электропроводность собственного полупроводника зависит от соотношения между EG и kТ. Ее значение существенно меньше электропроводности металла.
В диэлектриках при T < 103 К выполняется условие EG kT , и их элек-
тропроводность очень мала.
6
Задача 1.3. Изобразите в одной системе координат энергетические диа-
граммы собственных Si, Ge, GaAs, а также Al, SiO2 и AI2O3 с учетом соотно-
шений между значениями ширины запрещенной зоны EG , работы выхода А и
сродства к электрону χ.
Дополнительные сведения и пояснения. Термодинамическую работу вы-
хода электронов кристалла А определяет положение уровня Ферми относи-
тельно выбранного начала энергии (E 0). Для полупроводников важным па-
раметром является также сродство к электрону χ, которое определяется поло-
жением дна зоны проводимости (см. рис. 1.3, б). Соотношение работ выхода
играет определяющую роль в электрических свойствах контактов.
Задача 1.4. Объясните механизм электропроводности примесных полу-
проводников. Чем отличаются значения электропроводности вырожденного
полупроводника?
Дополнительные сведения и пояснения. Примесные полупроводники ши-
роко используются в полупроводниковых приборах. Процесс введения приме-
сей в полупроводник называется легированием. Легирование полупроводника
приводит к образованию на его ЭД в за- |
|
|||
прещенной зоне дополнительных (при- |
|
|||
месных) |
энергетических |
уровней. |
|
|
Различают |
донорные |
и акцепторные |
|
|
примеси. Соответствующие ЭД приве- |
|
|||
дены на рис. 1.4. |
|
|
|
|
Донорная примесь создает в запре- |
|
|||
щенной зоне полупроводника уровень |
Рис. 1.4. Энергетическая диаграмма |
|||
ED , расположенный |
вблизи |
дна зоны |
полупроводника: а – n-типа; б – p-типа |
|
|
||||
проводимости EC (рис. 1.4, а). Разность EC ED имеет смысл энергии иониза-
ции примесного атома, т. е. энергии, необходимой для отрыва от его электрон-
ной оболочки одного электрона. В результате примесный атом становится по-
ложительно заряженным ионом. На ЭД этот процесс отображается переходом электрона с уровня ED в зону проводимости.
При Т = 0 К донорные атомы не ионизированы (энергетический уровень
ED заполнен электронами) и уровень Ферми находится посередине между EC и
ED . Отсутствие дырок в валентной зоне и электронов в зоне проводимости обу-
словливает нулевое значение электропроводности полупроводника.
7
При Т > 0 К за счет тепловой ионизации донорной примеси часть уровней в зоне проводимости оказывается заполненной электронами и полупроводник приобретает способность проводить электрический ток. Существенное различие в значениях энергии ионизации примесных атомов и атомов самого полу-
проводника (EC ED EG ) приводит к тому, что концентрация электронов зоны проводимости n определяется главным образом параметрами донорной примеси (разностью EC ED и концентрацией донорных атомов ND ), причем n ni pi . Такой полупроводник называется донорным, или примесным n-
типа проводимости.
Акцепторная примесь создает в запрещенной зоне полупроводника уро-
вень EA , расположенный вблизи потолка валентной зоны EV (см. рис. 1.4, б).
Разность EA EV имеет смысл энергии ионизации примесного атома, т. е. энер-
гии, необходимой для перехода электрона из валентной зоны на уровень EA .
В результате такого перехода примесный атом становится отрицательно заряженным ионом. При Т = 0 акцепторные атомы не ионизированы (энергетиче-
ский уровень EA не заполнен электронами) и уровень Ферми находится посе-
редине между уровнями EA и EV . Как и в донорном полупроводнике, в данном случае электропроводность равна нулю.
При Т > 0 за счет тепловой ионизации акцепторной примеси часть уровней в валентной зоне освобождается от электронов и полупроводник становиться проводником электрического тока. Появление дырок в валентной зоне при Т > 0 в основном обусловлено переходами электронов из валентной зоны на уровень EA , так как необходимая для этих переходов энергия EA EV су-
щественно меньше энергии EG , необходимой для перевода электрона в зону проводимости. Концентрация дырок валентной зоны р практически определя-
ется параметрами акцепторной примеси (величиной EA EV и концентрацией акцепторных атомов N A ), причем p pi ni . Такой полупроводник называ-
ется акцепторным, или примесным p-типа проводимости.
На ЭД донорного полупроводника при Т > 0 положение уровня Ферми за-
висит от значений Т, ED и ND . Если уровень Ферми находится в запрещенной зоне и выполняется условие EC EF kT , то полупроводник называют невы-
рожденным n-типа. При заданных Т и ED это условие ограничивает сверху ве-
личину ND . При достаточно больших ND уровень Ферми оказывается в зоне
8
проводимости. Если при этом EF EC 5kT , то полупроводник называют вы-
рожденным (n -типа). Соответствующие ЭД представлены на рис. 1.5, а, в. На ЭД акцепторного полупроводника при Т > 0 положение уровня Ферми
зависит от Т, EA , N A . При EF EC kT полупроводник p-типа называют невы-
рожденным, а при EV EF 5kT – вырожденным p -типа (рис. 1.5, б, г).
Решение. В примесных полупроводниках n-типа ток переносится в основном электронами зоны проводимости. В полупроводниках p-типа перенос заряда осуществляется в основном за счет направленного движения электронов валентной зоны, которое можно интерпретировать как перемещение по кри-
Рис. 1.5. Энергетические диаграммы вырожденных полупроводников: а,в – n-типа; б,г – p-типа
сталлу в направлении электрического поля положительно заряженных дырок. Электропроводность у вырожденного полупроводника значительно больше по значению, чем у невырожденного, и имеет существенно иной вид
температурной зависимости.
Задача 1.5. Определите положение уровня Ферми относительно границ запрещенной зоны и концентрацию электронов зоны проводимости и дырок в беспримесных кристаллах Ge, Si и GaAs при T = 300 К. Как изменятся значения концентраций носителей заряда при увеличении температуры до 400 К?
Дополнительные сведения и пояснения. Концентрация электронов зоны проводимости и дырок валентной зоны в полупроводнике определяются выражениями:
ET |
gC E f E dE ; |
|
n |
(1.2) |
EC
9
|
|
EV |
|
|
||
|
|
p gV E 1 f E dE , |
(1.3) |
|||
|
|
EB |
|
|
||
где gC E |
и gV E – плотности энергетических состояний для электронов в |
|||||
зоне проводимости и дырок в валентной зоне; ET – верхняя граница зоны про- |
||||||
водимости; EB – нижняя граница валентной зоны. |
|
|||||
Для невырожденного полупроводника |
EC EF kT |
выражение (1.2) |
||||
можно преобразовать к виду |
|
|
||||
|
|
|
EC EF |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
n NCe kT |
, |
(1.4) |
||
где NC 2 |
2 mnkT 1.5 |
– эффективная плотность состояний в зоне проводи- |
||||
h3 |
||||||
|
|
|
|
|
||
мости. Значения NC для различных полупроводников даны в прил. 3.
Концентрация дырок валентной зоны в невырожденном полупроводнике p-типа проводимости определяется соотношением, аналогичным (1.3):
|
|
|
p N |
|
|
|
EF EV |
|
|
|
(1.5) |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
e |
|
kT |
, |
|
||||||||
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
где NV 2 |
2 mpkT 1.5 |
– эффективная плотность состояний в валентной зоне. |
||||||||||||||
h3 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Значения NV для различных полупроводников также даны в прил. 3. |
|
|||||||||||||||
Для собственного полупроводника (n ni , |
p pi ) из условия |
ni pi с |
||||||||||||||
учетом (1.3) и (1.4) следует, что |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
EG |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.6) |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
n p |
N |
C |
N e |
|
|
2kT . |
||||||||
|
|
i |
i |
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
||||
Указание. При вычислениях используйте соотношения (1.4) – (1.6) и по-
лагайте ширину запрещенной зоны полупроводников неизменной в рассмат-
риваемом диапазоне температур.
Задача 1.6. Определите смещение уровня Ферми в невырожденном крем-
нии n-типа проводимости при T = 300 К при условии, что концентрация элек-
тронов зоны проводимости в результате дополнительного легирования донор-
ной примесью увеличилась в 100 раз.
10