.2
Выбор насосов вакуумной системы
Выбор насосов вакуумной системы осуществляется в соответствии с расчетом характерных параметров диффузионного и форвакуумного насосов, таких как эффективная быстрота откачки насоса Sэф и быстрота действия насоса Sн , л/с.
Весь процесс откачки подразделяется на два периода: период
предварительной откачки от атмосферного давления до давления, при котором
начинает работать высоковакуумный насос (1·10-1…1·10-3 мм.рт. ст.) и период откачки от давления 1·10-1…1·10-3 мм.рт.ст до заданного рабочего давления Р=10-5
мм.рт.ст.
.2.1 Определение суммарного газового потока натекающего в электронную пушку
Давление р=10-3 Па в электронной пушке
определяется равновесием между удаляемым с помощью вакуумного насоса потока Q и потоком, поступающим в
откачиваемый объем QS, последний складывается из потока газа натекающего по лучепроводу из
рабочей вакуумной камеры Qлп;
газовыделения с внутренних стенок электронной пушки Qгаз и потока газов Qнат , натекающих из атмосферы.
(2.25)
Примем
.
Определим поток газов, выделяющийся со стенок электронной
пушки по формуле:
, где (2.26)
- площадь поверхности боковых стенок пушки, м2
-скорость удельного газовыделения (для боковых стенок из
коррозионностойкой стали).
, где (2.27)
=0.16 м - диаметр внутренней стенки пушки
=0.32 м- высота электронной пушки.
Натекающий поток газа определяется по формуле:
(2.28)
, где
= 2 - число последовательно проверенных соединений;
=0.2 -вероятность существования течи, которую нельзя
определить с помощью течеискателя;
- наименьший поток, регистрируемый течеискателем
Таким образом, суммарное натекание газа будет равно:
.2.2 Определение быстроты откачки
Быстротой откачки объекта или эффективной быстротой откачки насоса называется объем газа, поступающий в единицу времени из откачиваемого объекта в трубопровод через сечение при давлении p.
Если считать, что суммарное натекание газа постоянно во
времени, то необходимая эффективная быстрота откачки из электронной пушки
равна:
, (2.29)
где
- рабочее давление в пушке;
- суммарное натекание газа;
Коэффициент использования насоса Ки=0.4;
Найдем номинальную быстроту действия SH1,
(2.30)
По быстроте откачки и рабочему давлению подберем
подходящий насос.
.2.3 Выбор высоковакуумного насоса
Диффузионные
насосы применяют для откачки вакуумных систем до остаточных давлений
Па. И ниже. Механизм удаления газа в диффузионных
насосах обусловлен диффузионными процессами. Под действием разности
концентраций газа над паровой струей и в струе (концентрация газа в струе
вблизи сопла пренебрежимо мала) происходит диффузия газа в струю. Попав в
струю, молекулы газа получают импульсы от молекул пара в направлении парового
потока и уносятся вместе со струей к стенке корпуса насоса; при этом пар
конденсируется на охлаждаемой стенке, а газ, сжатый в струе до выпускного
давления ступени, перетекает вдоль стенки в пространство над следующей ступенью
насоса. Наряду с прямой диффузией газа происходит и обратная диффузия в струю
со стороны форвакуума. Однако в этом случае молекулы газа, движущиеся в
обратном направлении, сталкиваются с движущимися им навстречу молекулами пара и
оттесняются обратно в сторону форвакуума; лишь небольшая часть молекул может
продиффундировать через струю в обратном направлении. Число молекул газа,
диффундирующих через струю в обратном направлении, при оптимальном режиме
работы насоса несоизмеримо мало по сравнению с числом молекул газа.
Нам подходит паромасляный диффузионный насос НВД-025[2] с
номинальной быстротой откачки близкой к расчетной, основные характеристики
которого приведены в табл.4.1.
Таблица 4.1
Основные характеристики диффузионного насоса НВД-025[2]
|
Параметр |
Значение |
|
Быстрота действия, м3/с |
0.25 |
|
Предельное остаточное давление, Па |
2·10-6 |
|
Наибольшее выпускное давление, Па |
65 |
|
Расход охлаждающей воды (при Т=283…293 К), л/ч |
30 |
|
Мощность нагревателя, кВт |
0.5 |
|
Напряжение, В |
220 |
|
Dy, Впускного фланца, мм: |
100 |
|
Требуемая быстрота действия форвакуумного насоса, м3/с |
0.002 |
|
Габаритные размеры, мм |
320х210х421 |
|
Масса, кг |
14 |
.2.4 Выбор насоса предварительного разряжения
Требуемая быстрота действия
. Нам подходит агрегат вакуумный ротационный 2НВР-5ДМ [2],
характеристики которого приведены в табл.4.2.
Таблица 4.2
Насос вакуумный ротационный 2НВР-5ДМ [2]
|
Параметры |
Значение |
|
Быстрота действия при давлении 1.06·105 - 1.3·102 Па, м3/с |
0.005 |
|
Предельное остаточное давление, Па, не более: полное парциальное по воздуху |
2.6·10-1 1.3·10-2 |
|
Мощность двигателя насосов, кВт |
0.55 |
|
Габаритные размеры, мм |
555х170х280 |
|
Вес насоса, кг |
27 |
=0.7
Насос
типа 2НВР-5ДМ (Н- насос, В- вакуумный, Р- ротационный, Д- двухступенчатый, М-
модернизированный).
.2.5 Расчет времени откачки электронной пушки
Общее время откачки электронной пушки определяется быстродействием вакуумных насосов. Так как в данном случае два насоса, то следует подсчитать время откачки от каждого в отдельности, а потом сложить.
Время
достижения рабочего вакуума определяется по следующей формуле:
, где (2.31)
-объем
электронной пушки, м3,
-эффективная
быстрота откачки агрегата НВД-025, м3/с,
-
атмосферное давление и давление, необходимое для пуска
диффузионного насоса, Па.
-
коэффициент запаса
Объем
электронной пушки
Время
достижения промежуточного вакуума определяется аналогично:
, где:
-
эффективная быстрота откачки форвакуумного насоса, м3/с,
-
давление, необходимое для пуска диффузионного насоса и рабочее давление в вакуумной
камере, Па.
Суммарное
время откачки от двух насосов:
.2.6 Графическая проверка выбора вакуумных насосов и определение совместности их работы
Согласование последовательно работающих насосов осуществляется:
по потоку откачиваемых газов;
по выпускному давлению основного насоса;
по диаметру соединяющего трубопровода, который обычно выбирают
несколько большим диаметра выпускного патрубка основного насоса.
Проверяем совместность работы насосов графически.
С
целью проверки совместности работы вакуумных насосов в системе, включающей ее
элементы, построим графики зависимости Sн1(p), Sн2(p), Sэф1(p), Sэф2(p), SQ(p), представленных на рис.11.
Рис.11.
Графическая проверка совместности работы вакуумных насосов
Точка пересечения кривых Sэф1 и SQ, показанная на графике, соответствует установившемуся режиму работы первого насоса. Давление в точке пересечения равно рабочему давлению первого насоса. Аналогично по пересечению кривых Sэф2 и SQ находим рабочее давление второго насоса. Так как оно меньше, чем максимальное выпускное давление первого насоса, следовательно, насосы работают совместно.
Условием
запуска системы можно считать отсутствие двойного пересечения кривых SQ и Sэф1 в
промежутке рабочих давлений. Следовательно, система запускается.
Заключение
В ходе проделанной работы, для сварки изделий в промежуточном вакууме была выбрана электронно-лучевая пушка Штейгервальда мощностью 9 кВт. Произведен расчет и сравнение проволочных прямонакальных катодов из фольфрама и тантала. В результате сравнения был выбран катод из тантала, работающий при Т=2200 К.
Также был произведен расчет отклоняющей катушки, позволяющей получить в условиях высокого ускоряющего напряжения, большие плотности мощности пучка (n=2078 витков, Fкат=311.7 мм2, Н=15 мм, В=20.78 мм, Iф=0.25 А).
Для
непрерывного поддержания разрежения в полости пушки 10-3 Па и в сварочной
камере, где периодически создается разряжение 10-3 Па была разработана схема
откачки и подобраны насосы (диффузионный НВД-025 и форвакуумный 2НВР-5ДМ).
Также произведена проверка возможности совместной работы насосов.
Список
литературы
1. Ластовиря В.Н. Оборудование для обрабатки материалов электранным пучком. Учеб. Пос. по курсу "Технологические машины и оборудование". Изд. МЭИ. 1997.-132с.
. Вакуумная техника: Справочник/ Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева.- М.: Машиностроение, 1992.-132с.
. Шиллер 3., Гайзиг У., Панцер 3. Электронно-лучевая технология: Пер. с нем. - М.: Энергия, 1980 - 528с.
. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учеб. Для вузов.- 2-е изд..-М.: Высш. шк. 1990.~320с.
. Электронно-лучевая сварка./ Назаренко О.К., Кайдалов А.А., Ковбасенко С.Н., и д.р.; Под ред. Б.Е. Патона. - Киев: Наук. Думка, 1987. -256с.
6. Мамутов Е.Л. Электронно-лучевая сварка деталей большой толщины. - М.: Машиностроение, 1992.