Министерство Образования Российской Федерации
Московский Энергетический Институт
(технический университет)
Кафедра
технологии металлов
Курсовой проект по курсу:
“Проектирование специализированного оборудования и оснастки для обработки материалов КПЭ”
Тема проекта:
”Выбор электронной пушки и расчёт основных ее элементов”
Студент: Коссе И.М.
Группа: С-10-09
Руководитель: Рыжкин Р.А.
Москва 2012
Задание на курсовое проектирование
Введение
. Выбор электронной пушки
. Расчет проволочного прямонакального катода
2.1 Цель расчета катода
.2 Справочные данные
2.3 Расчет проволочного прямонакального катода, выполненного из тантала
.4 Сравнительный анализ параметров катодов из вольфрама и тантала
. Расчет параметров фокусирующей катушки
4. Выбор насосов вакуумной системы и ее схемы для откачки электронной пушки
.1 Выбор схемы откачки
4.2 Выбор насосов вакуумной системы
4.2.1 Определение суммарного газового потока натекающего в электронную пушку
.2.2 Определение быстроты откачки
.2.3 Выбор высоковакуумного насоса
.2.4 Выбор насоса предварительного разряжения
4.2.5 Расчет времени откачки электронной пушки
.2.6 Графическая проверка выбора вакуумных насосов и определение совместности их работы
Заключение
Список литературы
по курсу: “Проектирование специализированного оборудования и оснастки для обработки материалов КПЭ”
Тема проекта: “ Выбор электронной пушки и расчёт основных ее элементов ”
Содержание задания:
. Выбрать электронную пушку (из имеющихся в литературе) для выполнения технологического процесса - сварка; привести схему - чертеж и описание конструкции.
. Выполнить расчет проволочного прямонакального катода из вольфрама и для сравнения из тантала. Разработать конструкцию катодного узла.
. Рассчитать основные параметры фокусирующей катушки.
. Выбрать насосы вакуумной системы и ее схему для откачки пушки.
Объем проекта (минимальный):
· графическая часть - 2 листа формата А1;
· пояснительная записка - не менее 20 страниц формата А4.
Исходные данные: ЭП для сварки, проволочный прямонакальный катод,
Uуск=45 кB; I=200 мA.
Введение
Электронно-лучевая установка - это технологическая машина
для обработки материалов с помощью электронного пучка. Его формирование
осуществляется в специальном устройстве, называемом электронно-лучевым
генератором или электронной пушкой, для чего используют электрические и
магнитные поля. Пучок представляет собой ускоренный поток электронов. Плотность
мощности, достигаемая в нем
…
Вт/см2, позволяет
отнести его к концентрированным потокам энергии, которые обеспечивают быстрый
нагрев, плавление и испарение материалов.
В определенном смысле, в силу его свойств и широкого спектра технологических возможностей, пучок электронов можно считать идеальным термическим инструментом для обработки материалов. Это подтверждается преимуществами пучка по сравнению с лазерным лучом и плазменной дугой, такими как:
высокий эффективный К.П.Д. нагрева (0,9…0,98);
большая концентрация мощности в пятне нагрева (у лазерного луча достижимы на порядок большие значения);
хорошая управляемость мощностью, распределением плотности мощности в пятне нагрева и положением самого пятна;
вакуумная защита зоны обработки (достоинство, приводящие к
значительному усложнению технологической установки).
. Выбор электронной пушки
К высоковольтным пушкам относятся все пушки, созданные в ФРГ К. Штейгервальдом. Особое внимание Штейгервальд уделяет созданию ряда типовых электронно-лучевых пушек для сварки и размерной обработки, а также специализированных пушек и аппаратуры управления лучем, считая, что пушки, источники питания и аппаратура управления лучем являются автономными блоками и могут использоваться на любой установке.
Сварочные пушки К. Штейгервальда работают при ускоряющем напряжении до 150 кВ. В качестве прототипа была выбрана электронная пушка К. Штейгервальда [1] мощностью 9 кВт (Uуск=45 кВ; I=200 мА). Отличием новой конструкции является модификация катодного узла. Электронная пушка представлена на рис.1.
Данная электронная пушка отвечает следующим требованиям:
а) быстрая замена катодного узла без разборки всей пушки и последующей юстировки электронно-оптической системы;
б) возможность работы в любом пространственном положении, для чего высоковольтный ввод выполнен без масляной изоляции;
в) блочная структура конструкции позволяет легко приспосабливать пушку к изменяющимся условиям производства.
Формирование пучка происходит в электронно-лучевой пушке. Источником электронов является термоэмиссионный катод, который выполнен из тантала. Катодный узел (2) и управляющий электрод (3) закреплены на высоковольтном изоляторе (4). На некотором расстоянии от катода находится анод (5), выполненный в виде массивной детали с отверстием на оси, которая крепится на корпус электронно-лучевой установки. Между катодом и анодом прикладывается ускоряющее напряжение 45 кВ. Ускоряющее напряжение разгоняет эмитированные электроны, которые пройдя отверстие в аноде в дальнейшем движутся по инерции. Фокусирование электронного пучка происходит с помощью фокусирующей системы (7), которая выполнена в виде магнитной линзы- соленоида, создающего магнитное поле специальной формы. Фокусирующая система изменяет траекторию пролетающих электронов, при этом пучок сходится на изделии и обладает высокими удельными энергетическими показателями. Отклоняющая система содержит две пары отклоняющих катушек (8), расположенных во взаимно перпендикулярных направлениях, и отклоняющих сфокусированный пучок по изделию.
В этой пушке для смены катода нужно освободить токопровод
от уплотнителей, открыть верхнюю крышку корпуса (1), извлечь сменный катодный
узел и установить новый. Конструкция катодного узла, чертеж которого приведен
на рис.2, и высокая точность его изготовления обеспечивают попадание луча в ту
же самую точку, что и до смены катодного узла. Лучепровод пушки (6) снабжен
вакуумным затвором (9), позволяющим перекрывать область катодного узла при
сварке в промежуточном вакууме. С целью поддержания в области катодного узла
высокого вакуума (примерно
мм. рт. ст.) пушка снабжена дифференциальной системой
откачки.
Катодный узел является одним из основных функциональных
элементов электронно-лучевой установки, т.к. от его стабильной работы
(постоянство эмиссии электронов) зависит успех технологического процесса.
Рис.1.
Модифицированная электронно-лучевая пушка Штейгервальда
Рис.2.
Конструкция катодного узла
.
Расчет проволочного прямонакального катода
.1 Цель расчета катода
Целью расчета катода является определение, с учетом конкретной конструкционной схемы и материала, его геометрических размеров и электрических параметров источника накала, которые обеспечивают заданную силу тока эмиссии катода. В свою очередь, ток эмиссии катода определяет значение тока электронного пучка для пушки, использующей данный катод.
Суть расчета заключается в вычислении электрических и геометрических
параметров катода при различных температурах. Данная методика расчета
проволочного прямонакального катода приведена в учебном пособии [1].
.2 Справочные данные [1]
Таблица 2.1
|
Температура нагрева |
Вольфрам |
Тантал |
||
|
Т, К |
ρ, мкОм·см |
m, г/(см2·с) |
ρ, мкОм·см |
m, г/(см2·с) |
|
2200 |
63.48 |
12.5·10-12 |
85.5 |
0.18·10-9 |
|
2400 |
70.39 |
0.93·10-9 |
91.3 |
42·10-9 |
|
2600 |
77.49 |
8.4·10-9 |
97.4 |
6.7·10-6 |
|
2800 |
84.70 |
0.11·10-6 |
102.9 |
0.92·10-3 |
|
3000 |
92.04 |
0.99·10-6 |
- |
- |
Таблица 2.2
Поправки на охлажденные концы катодов из W и Ta:
|
Т, К |
2200 |
2300 |
2400 |
2500 |
2600 |
2700 |
2800 |
|
∆Uн, В |
0.215 |
0.225 |
0.237 |
0.248 |
0.259 |
0.269 |
0.280 |
|
∆Uе, В |
0.818 |
0.855 |
0.890 |
0.930 |
0.970 |
1.010 |
1.050 |
2.3 Расчет проволочного прямонакального катода, выполненного из тантала
Таблица 2.3
Константы и теплофизические свойства тантала при Т = 2200°С [1]
|
Наименование параметра |
Обозначение и размерность |
Значение |
|
Эмиссионная постоянная Ричардсона-Дэшмана |
А, |
|
|
Работа выхода электрона |
еj, Дж |
|
|
Постоянная Больцмана |
k, |
|
|
Интегральный коэффициент излучения |
e |
0.22 |
|
Удельное сопротивление |
r, |
|
|
Удельная скорость испарения |
m, |
|
|
Постоянная Стефана- Больцмана |
s, |
|
|
Температура плавления |
Тпл, К |
3300 |
Расчет единичного катода
Гипотетический единичный катод - это катод, у которого длина и диаметр равны используемой единице длины.
В соответствии с рекомендациями [1], расчёт начинаем с вычисления параметров единичного катода :
Достижимая плотность тока термоэлектронной эмиссии нагретого тела (плотность
тока насыщения) зависит от температуры по закону Ричардсона - Дэшмана:
(2.1)
где Т - температура нагрева;
Удельное излучение с поверхности (величина,
определяемая теплофизическими характеристиками катода и не зависящая от его
величины) определяется по формуле:
(2.2)
Электрофизические параметры единичного катода определяются по следующим формулам.
Мощность, подводимая от источника питания для нагрева
катода:
(2.3)
.
Сопротивление нагретого катода:
(2.4)
Ток накала катода:
(2.5)
Напряжение накала катода:
(2.6)
Сила тока эмиссии катода:
(2.7)
Скорость испарения материала
катода:
(2.8)
Расчет геометрических параметров катода
Для идеального катода ток эмиссии равен току пучка с
учетом потерь эмиссионных свойств на 20%.
(2.9)
Идеальный катод имеет по всей длине постоянную температуру в отличии от реального катода, который имеет участки, находящиеся в непосредственной близости от держателей с меньшей температурой, чем температура центральной части. Снижение температуры ведет к изменению всех характеристик идеального катода, в том числе наиболее важных с практической точки зрения - силы тока эмиссии катода и падения напряжения на его длине.