126
Таблица 7.3. Параметры однослойной модели для Pd- и Pt/Pd-содержащих кремнеземных пленок различного состава и условий синтеза
Состав золя |
|
d, Å |
|
|
ρe, Å-3 |
|
|
σ, Å |
|
|
T=250°C, |
T=250°C, |
T=130°C, |
T=250°C, |
T=250°C, |
T=130°C, |
T=250°C, |
T=250°C, |
T=130°C, |
|
2 недели |
52 недели |
52 недели |
2 недели |
52 недели |
52 недели |
2 недели |
52 недели |
52 недели |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20Pt/1Pd/79Si |
219±15 |
336±33 |
357±30 |
0.64±0.04 |
0.64±0.04 |
0.64±0.04 |
21±3 |
8±4 |
15±4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20Pt/3Pd/77Si |
240±41 |
275±27 |
289±27 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
0.64±0.04 |
26±3 |
9±3 |
16±5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20Pt/5Pd/75Si |
311±32 |
300±24 |
307±39 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
22±7 |
13±3 |
12±5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20Pt/10Pd/70Si |
200±34 |
320±20 |
350±37 |
0.68±0.04 |
0.71±0.11 |
0.68±0.07 |
25±4 |
12±3 |
29±5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20Pt/20Pd/60Si |
339±34 |
353±31 |
411±61 |
0.71±0.04 |
0.71±0.04 |
0.71±0.04 |
23±8 |
11±3 |
9±5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1Pt/3Pd/96Si |
205±16 |
260±14 |
253±20 |
0.64±0.04 |
0.64±0.04 |
0.64±0.04 |
15±3 |
5±3 |
10±5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1Pt/5Pd/94Si |
231±17 |
315±16 |
321±28 |
0.64±0.04 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
23±3 |
13±3 |
13±3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1Pt/10Pd/89Si |
203±24 |
237±13 |
252±17 |
0.64±0.04 |
0.68±0.04 |
0.64±0.04 |
22±3 |
5±3 |
7±3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1Pt/20Pd/79Si |
215±16 |
272±21 |
292±10 |
0.64±0.04 |
0.71±0.04 |
0.57±0.04 |
28±3 |
6±3 |
16±4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1Pd/99Si |
206±23 |
578±17 |
629±15 |
0.64±0.04 |
0.57±0.04 |
0.57±0.04 |
17±3 |
5±4 |
11±4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3Pd/97Si |
206±23 |
460±11 |
474±17 |
0.68±0.04 |
0.64±0.04 |
0.64±0.04 |
21±3 |
4±3 |
8±5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5Pd/95Si |
211±23 |
244±19 |
292±31 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
20±3 |
5±3 |
6±5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10Pd/90Si |
215±35 |
268±22 |
303±48 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
0.68±0.04 |
35±4 |
6±4 |
9±3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
20Pd/80Si* |
203±26 |
- |
- |
0.68±0.04 |
- |
- |
32±3 |
- |
- |
*Оценка параметров образца невозможна, т.к. пленка несплóшная, и имеет «островковую» структуру.
127
Толщины пленок, синтезированных из золей, выдержанных в течение 2 недель (первая серия), оказались меньше толщин пленок, полученных из золей выдержанных в течение 52 недель (вторая и третья серия). Наблюдаемая разница параметров пленок, несомненно, связана с увеличением вязкости золей по мере их старения в результате углубления процессов гидролиза TEOС и поликонденсации продуктов гидролиза. Интересно отметить, что толщина пленок (значит и вязкость золей) более существенно увеличивается в присутствии одного из допантов. Введение в кремнезоль двух допантов одновременно, Pt и Pd, в значительной степени нивелирует увеличение толщины пленок по мере старения золей.
Шероховатость высоколегированных Pd-содержащих пленок, полученных из менее состаренных золей (выдержанных в течение 2 недель), характеризуется более высокими значениями, чем для пленок, выдержанных в течение 1 года (таблица 7.3). Возможно, в том числе, это связано с тем, что в золях остается меньше соединений палладия – часть превращается в металлический Pd и выпадает в осадок в результате старения золя.
Необходимо отметить, что значения толщин исследованных пленок, полученных из Pd- и Pt/Pd-содержащих золей (после их старения в течение 52 недель), лежат в диапазоне 25-50 нм. Эти значения находятся в том же размерном диапазоне, что и для кремнеземных пленок, допированных платиной, полученных из золей на основе TEOС (20 масс. % в пересчете на PtO2,
3 об. % TEOС) [114].
Необходимо отметить, что фазовый состав допантов изначально определяли с помощью метода порошкового рентгенофазового анализа. Из-за недостаточной разрешающей способности метода вместо тонких пленок использовали ксерогели или толстые пленки толщиной до 1 мм, послойно нанесенные методом разлива. На примере платиносодержащих кремнезолей было определено влияние температурного и временного режима на процесс формирования кристаллитов металла в кремнеземной матрице. На рисунке 7.12. представлены рентгенограммы образцов ксерогелей, полученных из золя 60Pt_40Si_3, при различных температурах сушки.
интенсивность, отн.ед.
20
128

5

4 
3

2 
1
|
|
|
|
|
40 2Θ,град60 |
80 |
|||
Рисунок 7.12. Фрагменты дифракторграмм образцов ксерогелей, полученных из золя состава 60Pt/40Si/3, при различных температурах сушки: 1 – при 20°С, 2 – 80°С, 3 – 120°С, 4 – сушка при 20°С и дополнительный отжиг при 250°С, 5 – сушка при 80°С и дополнительный отжиг при 250°С.
Дифрактограмма 1 на рисунке 7.12 свидетельствует о том, что при медленной сушке золя, содержащего платину, при комнатной температуре образуется рентгеноаморфный ксерогель. При повышении температуры формирования ксерогеля (80 и 120°С), происходит образование кристаллической Pt. На ре нтгенограммах 2 и 3 видны множественные ярко выраженные рефлексы при 2θ: 39,8°, 46,2°, 67,5° и 81,3°, соответствующие кристаллографическим плоскостям (111), (200), (220) и (311) кубической гранецентрированной решетки платины (группа Fm3m) [201], что подтверждает результативное восстановление прекурсора Pt+4 до металлической Pt . Следует обратить внимание на то, что рефлексы для фаз PtO и PtO2 отсутствуют. Возможно, образуются рентгенонеразличимые оксиды, на присутствие которых в платиносодержащих пленках, полученных на основе ТЭОС и H2[PtCl6] ссылаются авторы [193, 194].
Значительное уширение пиков на рентгенограмме говорит о малом (нанометровом) размере кристаллитов. Для расчета среднего размера кристаллитов (области когерентного рассеяния) Pt0 по уравнению Дебая – Шеррера, использовались наиболее ярко выраженные рефлексы кристаллографического направления (111) (таблица 4). Необходимо отметить, что размеры кристаллитов, образовавшихся при гелировании, как при 80, так и при 120°С, находятся в пределах от 7 до 8 нм. В гелях, формировавшихся при комнатной температуре, после высушивания и термообработки при 250°С образовались более мелкие по размеру наночастицы размером 4-5 нм, что согласуется с работами авторов [201]. Кроме того, было
129
установлено, что повторное термическое воздействие при 250°С не оказывает существенного влияния на изменение размера частиц платины, сформировавшихся в гелях, созревавших при повышенных температурах – 80 и 120°С (рисунок 7.12, рентгенограммы 4 и 5 и таблица 7.4). При повторном нагреве ксерогеля, полученного при температуре 80°С до 250°С, в небольших количествах начинает появляться фаза смешанного оксида платины (рисунок 7.12, рентгенограмма 5).
Таблица 7.4. Размер области когерентного рассеяния кристаллитов Pt0 в ксерогелях, полученных из кремнезоля состава 60Pt_40Si_3, при различных температурах гелеобразования
Условия |
Температура, |
DОКР |
Дополнительный |
DОКР |
формирования |
ºC |
кристаллитов в |
отжиг при |
кристаллитов в |
ксерогеля |
|
направлении |
температуре |
направлении |
|
|
(111), нм |
|
(111), нм |
|
|
|
|
|
Гелеобразование |
20°С |
рентгеноаморфен |
|
5,3±0,5 |
при температуре |
|
|
250°С |
|
80°С |
7,2±0,7 |
7,2±0,7 |
||
|
|
|
|
|
|
120°С |
8,0±0,8 |
|
8,1±0,8 |
|
|
|
|
|
Четко выраженные пики кристаллической Pt0 на рентгенограммах на рисунке 7.12 свидетельствуют о том, что в результате даже небольшого нагрева в процессе гелеобразования платиносодержащих кремнезолей (до 80 - 120°C) образуются кристаллиты металлической платины, что совпадает с литературными данными [202]. Дополнительное уточнение размеров наночастиц (кристаллитов) платины было проведено с помощью альтернативного метода исследования – ПЭМ высокого разрешения.
На изображении (рисунок 7.13) видны агломераты, состоящие из наночастиц Pt размером 2-2,5 нм. Результаты микроскопии коррелируют с данными, полученными ранее авторами [193, 194] для пленок и гелей, сформированных из золей на основе ТЭОС в широком диапазоне концентраций соединений платины (от 20 до 60 масс.% в пересчете на PtO2). Возможно, что эти наночастицы также содержат и другие соединения платины – оксиды Pt+2 и
Pt+4.
130
а)
б) Рисунок 7.13. ПЭМ наночастиц Pt, полученных из кремнезоля состава 60Pt_40Si_3, после его
гелирования и термообработки при 250°С (а) и FFT-преобразование изображения кристаллической структуры (б).
Если, для Pt-содержащих кремнезолей было установлено, что при комнатной температуре из них постепенно образуются рентгеноаморфные ксерогели, а при дополнительном отжиге при 250°С, в кремнеземной матрице формируются наночастицы Pt, размер DОКР которых составляет 5-7 нм [196], то для ксерогелей, легированных палладием, полученных из золей на основе TЭOС и PdCl2, характерна аналогичная картина (рисунок 7.14). Изначально, гель, образовавшийся естественным старением золей при комнатной температуре, является рентгеноаморфным. После его термообработки в диапазоне температур 130-250°С образуются кристаллиты металлического палладия с размером DОКР около 8 нм. Таким образом, из золя на основе водно-спиртового раствора TЭOС и соли палладия возможно получать ксерогели, содержащие металлические частицы палладия, не вводя в золи дополнительных восстановителей и не подвергая ксерогели термообработке в атмосфере водорода, как это приходилось делать авторам [203, 204], которые высаживали кристаллиты нуль-валентного палладия из водных растворов его солей.